[實用新型]一種半導體光刻板移動機構

有效

• 申請號: 202020564337.6
• 申請日: 2020-04-15
• 公開（公告）號: CN212113621U
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 徐瑩
• 申請（專利權）人: 林麗琴
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體光刻板移動機構，其結構包括運輸板(1)、滑動連接塊(2)、滑軌(3)、連接斜板(4)、滑軌體(5)、支撐底塊(6)、側連接塊(7)、圓桿(8),其特征在于：

所述運輸板(1)的底端與滑動連接塊(2)的頂端為一體化結構，所述滑軌(3)與滑軌體(5)為一體化結構，所述支撐底塊(6)的頂端與滑軌體(5)的底端相焊接，所述側連接塊(7)的右端與滑軌體(5)的左端相焊接，所述圓桿(8)設于滑軌體(5)上，所述連接斜板(4)的左端與滑軌體(5)的右端相焊接，所述運輸板(1)包括抽動連接桿(11)、滑動彈簧槽(12)、吸附塊(13)、抽板(14)、板體(15)、活動連接塊(16)、彈簧(17)，所述抽動連接桿(11)的底端與活動連接塊(16)的頂端相焊接，所述滑動彈簧槽(12)與板體(15)的頂端為一體化結構，所述吸附塊(13)嵌入安裝在滑動彈簧槽(12)上，所述抽板(14)嵌入安裝在吸附塊(13)上，所述抽板(14)的底端與抽動連接桿(11)的頂端相焊接，所述活動連接塊(16)位于板體(15)的正下方，所述彈簧(17)嵌入安裝在滑動彈簧槽(12)內，所述板體(15)的底端滑動連接塊(2)的頂端為一體化結構。

2.根據權利要求1所述的一種半導體光刻板移動機構，其特征在于：所述運輸板(1)位于支撐底塊(6)的正上方，所述滑動連接塊(2)嵌入安裝在滑軌(3)上。

3.根據權利要求1所述的一種半導體光刻板移動機構，其特征在于：所述滑動彈簧槽(12)為環形空槽結構。

4.根據權利要求1所述的一種半導體光刻板移動機構，其特征在于：所述抽動連接桿(11)與抽板(14)相互垂直。

5.根據權利要求1所述的一種半導體光刻板移動機構，其特征在于：所述抽板(14)為圓板結構。