[實用新型]擴散爐以及擴散爐的石英蓋的監控裝置

有效

• 申請號: 202020559218.1
• 申請日: 2020-04-15
• 公開（公告）號: CN212058294U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 晁磊;陳崇山;沈震
• 申請（專利權）人: 上海先進半導體制造有限公司
• 主分類號: F27D1/18
• 分類號: F27D1/18;F27D21/00;F27D21/04;H01L21/22
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 薛琦;張冉

本實用新型公開了一種擴散爐以及擴散爐的石英蓋的監控裝置，其中，擴散爐包括爐管控制器，石英蓋上設有一磨砂條，監控裝置包括紅外探測器和繼電器；紅外探測器固設在擴散爐的隔板上，并且當石英蓋蓋上時紅外探測器位于磨砂條的正上方；繼電器用于為紅外探測器供電，紅外探測器用于向正下方發出紅外信號，并將用于表征紅外探測結果的輸出信號發送至繼電器，繼電器用于將紅外探測器的輸出信號升壓后發送至爐管控制器。本實用新型通過紅外探測器向石英蓋蓋上時磨砂條的所處位置發射紅外信號，然后根據紅外信號的反射情況可以確定石英蓋是否蓋上，從而能夠自動監控擴散爐的石英蓋是否正確蓋上，檢測效率高，避免漏檢忘檢。

技術領域

本實用新型屬于半導體制造的技術領域，尤其涉及一種擴散爐以及擴散爐的石英蓋的監控裝置。

背景技術

采用擴散爐制造半導體的場景下，由于工藝原因需要在裝片的最后工序蓋上擴散爐的石英蓋，操作工經常忘記蓋上該石英蓋造成產品報廢，通常需要人工檢查是否蓋上該石英蓋，檢測效率低、容易導致漏檢忘檢。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是為了克服現有技術中需要人工檢查擴散爐的石英蓋是否正確蓋上，檢測效率低、容易導致漏檢忘檢的缺陷，提供一種擴散爐以及擴散爐的石英蓋的監控裝置。

本實用新型是通過下述技術方案來解決上述技術問題：

本實用新型提供一種擴散爐的石英蓋的監控裝置，擴散爐包括爐管控制器，石英蓋上設有一磨砂條，監控裝置包括紅外探測器和繼電器；

紅外探測器和繼電器的輸入回路電連接；

繼電器的輸出回路與爐管控制器電連接；

繼電器的電源端與爐管控制器的電源輸入輸出端電連接；

紅外探測器固設在擴散爐的隔板上，并且當石英蓋蓋上時紅外探測器位于磨砂條的正上方；

繼電器用于為紅外探測器供電，紅外探測器用于向正下方發出紅外信號，并將用于表征紅外探測結果的輸出信號發送至繼電器，繼電器用于將紅外探測器的輸出信號升壓后發送至爐管控制器。

較佳地，監控裝置還包括支架；

支架固設在擴散爐的隔板上，紅外探測器固設在支架上。

較佳地，紅外探測器包括紅外發射端和紅外接收端，紅外發射端用于向正下方發出紅外信號，紅外接收端用于接收被磨砂條反射回的紅外信號。

監控裝置還包括報警裝置；

繼電器的輸出回路與報警裝置電連接；

報警裝置用于在紅外探測結果為石英蓋未蓋上時發出報警信號。

較佳地，報警裝置包括揚聲器和/或指示燈。

本實用新型還提供一種擴散爐，擴散爐包括前述的擴散爐的石英蓋的監控裝置。

本實用新型的積極進步效果在于：本實用新型通過紅外探測器向石英蓋蓋上時磨砂條的所處位置發射紅外信號，然后根據紅外信號的反射情況可以確定石英蓋是否蓋上，從而能夠自動監控擴散爐的石英蓋是否正確蓋上，檢測效率高，避免漏檢忘檢。

附圖說明

圖1為本實用新型的實施例1的擴散爐的石英蓋的監控裝置的電連接示意圖。

圖2為本實用新型的實施例1的擴散爐的石英蓋的監控裝置中的紅外探測器的固設示意圖。

圖3為本實用新型的實施例2的擴散爐的石英蓋的監控裝置中的紅外探測器的固設示意圖。

圖4為本實用新型的實施例2的擴散爐的石英蓋的監控裝置的電連接示意圖。

具體實施方式