[實(shí)用新型]擴(kuò)散爐以及擴(kuò)散爐的石英蓋的監(jiān)控裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020559218.1
• 申請(qǐng)日: 2020-04-15
• 公開（公告）號(hào): CN212058294U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 晁磊;陳崇山;沈震
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): F27D1/18
• 分類號(hào): F27D1/18;F27D21/00;F27D21/04;H01L21/22
• 代理公司: 上海弼興律師事務(wù)所 31283
• 代理人: 薛琦;張冉

1.一種擴(kuò)散爐的石英蓋的監(jiān)控裝置，所述擴(kuò)散爐包括爐管控制器，其特征在于，所述石英蓋上設(shè)有一磨砂條，所述監(jiān)控裝置包括紅外探測(cè)器和繼電器；

所述紅外探測(cè)器和所述繼電器的輸入回路電連接；

所述繼電器的輸出回路與所述爐管控制器電連接；

所述繼電器的電源端與所述爐管控制器的電源輸入輸出端電連接；

所述紅外探測(cè)器固設(shè)在所述擴(kuò)散爐的隔板上，并且當(dāng)所述石英蓋蓋上時(shí)所述紅外探測(cè)器位于所述磨砂條的正上方；

所述繼電器用于為所述紅外探測(cè)器供電，所述紅外探測(cè)器用于向正下方發(fā)出紅外信號(hào)，并將用于表征紅外探測(cè)結(jié)果的輸出信號(hào)發(fā)送至所述繼電器，所述繼電器用于將所述紅外探測(cè)器的輸出信號(hào)升壓后發(fā)送至所述爐管控制器。

2.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐的石英蓋的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述監(jiān)控裝置還包括支架；

所述支架固設(shè)在所述擴(kuò)散爐的隔板上，所述紅外探測(cè)器固設(shè)在所述支架上。

3.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐的石英蓋的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述紅外探測(cè)器包括紅外發(fā)射端和紅外接收端，所述紅外發(fā)射端用于向正下方發(fā)出紅外信號(hào)，所述紅外接收端用于接收被所述磨砂條反射回的紅外信號(hào)。

4.如權(quán)利要求1所述的擴(kuò)散爐的石英蓋的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述監(jiān)控裝置還包括報(bào)警裝置；

所述繼電器的輸出回路與所述報(bào)警裝置電連接；

所述報(bào)警裝置用于在所述紅外探測(cè)結(jié)果為所述石英蓋未蓋上時(shí)發(fā)出報(bào)警信號(hào)。

5.如權(quán)利要求4所述的擴(kuò)散爐的石英蓋的監(jiān)控裝置，其特征在于，所述報(bào)警裝置包括揚(yáng)聲器和/或指示燈。

6.一種擴(kuò)散爐，其特征在于，所述擴(kuò)散爐包括如權(quán)利要求1～5中任一項(xiàng)所述的擴(kuò)散爐的石英蓋的監(jiān)控裝置。