[實用新型]一種等離子體增強化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 202020553872.1
• 申請日: 2020-04-15
• 公開（公告）號: CN212051640U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 姜興輝;紀海瑞;曲紅杰;白曉磊;林延春
• 申請（專利權）人: 大連諾豪聯恒電子科技有限公司
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511;C23C16/458
• 代理公司: 沈陽天贏專利代理有限公司 21251
• 代理人: 陳貞

本實用新型提供了一種等離子體增強化學氣相沉積裝置，包括用于氣相沉積的反應腔，所述反應腔上方的微波源反應器，所述反應腔中部設置有樣品臺，所述樣品臺設置在升降裝置上，所述升降裝置底端固定在密封板上，所述密封板設置在樣品臺出入口處，所述密封板底端固定在在驅動板上，所述驅動板的左、右兩側設置有液壓驅動裝置，所述液壓驅動裝置包括伸縮桿，所述兩側的伸縮桿底端分別固定在驅動板側面，所述驅動板下方設置有取樣室，所述取樣室的左右兩側分別設置有吹掃裝置和吸附網，所述吸附網可拆卸的設置在取樣室的側壁上，本實用新型取樣方便，使用便捷，從下方取樣不會損壞上部的等離子體發生裝置等，而且取樣過程中外延生長環境清潔無污染。

技術領域

本實用新型涉及氣相沉積技術領域，特別涉及一種等離子體增強化學氣相沉積裝置。

背景技術

氣相沉積技術是利用氣相中發生的物理、化學過程，在工件表面形成功能性或裝飾性的金屬、非金屬或化合物涂層。氣相沉積技術按照成膜機理，包括真空蒸鍍、濺射鍍膜、等離子體氣相沉積等；其中，等離子體氣相沉積的應用也越來越廣，在等離子體增強化學氣相沉積裝置中樣品放置在樣品臺上，傳統的垂直升降放取樣結構，具有操作空間有限、使用不便捷、生產效率低、易損壞上部的等離子體發生裝置等，在實際的使用過程中極為不便，而且取樣過程中需要潔凈的外延生長環境。

實用新型內容

為克服現有技術的缺陷，本實用新型提供的技術方案為:一種等離子體增強化學氣相沉積裝置，包括用于氣相沉積的反應腔，所述反應腔上方的微波源反應器，所述反應腔中部設置有樣品臺，所述樣品臺設置在升降裝置上，所述升降裝置底端固定在密封板上，所述反應腔底端設置有樣品臺出入口，所述密封板設置在樣品臺出入口處，所述密封板底端固定在在驅動板上，所述驅動板的左、右兩側設置有液壓驅動裝置，所述液壓驅動裝置包括伸縮桿，所述兩側的伸縮桿底端分別固定在驅動板側面，所述驅動板下方設置有取樣室，所述取樣室的左右兩側分別設置有吹掃裝置和吸附網，所述吸附網可拆卸的設置在取樣室的側壁上。

優選的是，所述升降裝置包括升降液壓桿和升降液壓缸，所述升降液壓桿的頂端固定在樣品臺底端中部，所述升降液壓桿的底端端設置在升降液壓缸的輸出端，所述升降液壓缸底座固定在密封板的上表面。

優選的是，所述伸縮桿的頂端設置在伸縮液壓缸的輸出端，所述伸縮液壓缸底座固定在樣品臺出入口兩側的反應腔的底部。

優選的是，所述吹掃裝置包括吹掃風機和吹掃管，所述吹掃管與吹掃風機相連通，所述吹掃風機固定在吹掃箱外部，所述吹掃管的出氣孔對中樣品臺一側。

優選的，所述驅動板左右兩側設置有導向桿，所述導向桿穿過驅動板豎直且平行設置。

優選的是，所述導向桿頂端固定在反應腔底部，底部固定設置有限位塊。

優選的是，所述樣品臺出入口的一側設置有擋板，所述擋板的一側設置有推拉桿，所述推拉桿水平設置，所述推拉桿的外端固定在擋板側面，所述推拉桿設置在推拉液壓缸的輸出端，所述推拉液壓缸固定在反應腔側面。

優選的是，所述密封板的周圍設置有密封條，所述密封板與樣品臺出入口可密封安裝。

本實用新型的有益效果體現在以下方面：

本實用新型采用樣品臺下方設置有密封板上，所述密封板底端固定在在驅動板上，所述驅動板由伸縮桿控制可將樣品臺豎直移出反應腔，在取樣室中取出反應樣品，所述擋板在推拉桿的驅動下將樣品臺出入口遮蓋，所述驅動板下方設置有取樣室內的吹掃裝置將樣品臺吹掃干凈，所述樣品臺吹過的氣體經吸附網吸附后排出，取樣方便，使用便捷，從下方取樣不會損壞上部的等離子體發生裝置等，而且取樣過程中外延生長環境清潔無污染。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為圖1中A處局部放大圖。