[實用新型]一種芯片加熱測試機構有效
| 申請號: | 202020543002.6 | 申請日: | 2020-04-14 |
| 公開(公告)號: | CN211578716U | 公開(公告)日: | 2020-09-25 |
| 發明(設計)人: | 榮國青;門蒙;張健星 | 申請(專利權)人: | 蘇州輝墾電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677;G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司: | 蘇州智品專利代理事務所(普通合伙) 32345 | 代理人: | 呂明霞 |
| 地址: | 215134 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 加熱 測試 機構 | ||
本實用新型公開了一種芯片加熱測試機構,包包括連接單元、測試單元、加熱單元及傳動結構,連接單元包含治具連接板,測試單元包含基座,加熱單元包含加熱盤,傳動結構包含連接基板、吸嘴固定塊、壓塊、吸嘴。本實用新型的有益效果是:芯片通過傳動結構抓取、放置,芯片放置位置精準,傳動結構無需調整,工序少,節省工時,提高了芯片的檢測效率,墊片槽內的支撐墊片、銷釘可防止芯片在傳動過程中因過壓而損傷,提高芯片檢測的合格率,減少損失,壓塊可保護吸嘴不會因高溫而損壞,同時加熱盤采用機加工制作,且本實用的測試機構可同時檢測四個芯片,加熱盤可放置多個芯片,可同時對上百個芯片進行加熱測試,效率高。
技術領域
本實用新型涉及芯片測試技術領域,具體為一種芯片加熱測試機構。
背景技術
隨著科技的發展,芯片產業發展越來越快,芯片的小型化、多功能是現代芯片產業的發展趨勢。由于芯片生產需經過幾百步的工藝,任何一步的錯誤都可能導致器件失效,因此芯片檢測環節至關重要,采用好的芯片測試機構可以提高芯片生產的合格率。常見的芯片檢測機構,往往只能一次檢測一個或兩個芯片,檢測效率低下,且芯片在傳動過程中沒有保護,經常出現過壓導致的壓傷、損壞,使芯片造成極大的浪費,且芯片每種檢測,都需要更換設備,工序繁瑣,檢測效率低,且在更換設備時,芯片在搬運過程中容易出現壞損,造成極大的損失。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種芯片加熱測試機構,以解決上述背景技術中提出的問題。
為實現上述目的,本實用新型提供如下技術方案:一種芯片加熱測試機構,包括連接單元、測試單元、加熱單元及傳動結構,所述連接單元包含治具連接板,所述治具連接板上設有四個直線排列的第一芯片槽,所述治具連接板上設有四個方形排列的墊片槽,所述墊片槽對稱布置在第一芯片槽的前后兩側;
所述測試單元包含基座,所述基座上設有直線排列的四個第二芯片槽和四個第二銷釘,所述第二芯片槽的前后兩側分別設有第二感應槽、第一感應槽;
所述加熱單元包含加熱盤,所述加熱盤上開設有第三芯片槽,所述加熱盤的左右兩側設有把手;
所述傳動結構包含連接基板、吸嘴固定塊、壓塊、吸嘴,所述吸嘴固定塊固定在連接基板上,所述壓塊設置于吸嘴固定塊的下方并和連接基板連接,所述吸嘴固定在吸嘴固定塊上并和連接基板、壓塊連接。
進一步優選,所述治具連接板上設有四個第一銷釘,其布置于第一芯片槽的兩側,相鄰兩個所述第一銷釘間的距離和相鄰兩個第二銷釘間的距離相等,所述墊片槽內連接有支撐墊片。
進一步優選,所述壓塊上設有兩個定位孔,兩個所述定位孔間的距離和相鄰兩個第二銷釘間的距離相等。
進一步優選,所述第一芯片槽、第三芯片槽均采用通槽設計,所述第二芯片槽采用盲槽設計,其槽底設有通孔。
進一步優選,所述傳動結構設有兩個吸嘴及兩個吸嘴固定塊,相鄰的兩個所述第一芯片槽、兩個第二芯片槽、兩個第三芯片槽間的距離均和兩個吸嘴間的距離相等。
進一步優選,所述第三芯片槽采用多槽位設計,均勻布置在加熱盤上。
進一步優選,所述加熱盤上的第三芯片槽采用機加工切割設計。
進一步優選,所述第一感應槽和第二感應槽的深度不相等,二者呈一條直線設計,且從第二芯片槽的中心穿過。
有益效果
本實用新型的芯片加熱測試機構,是一種高精度的芯片測試機構,芯片通過傳動結構抓取、放置,芯片放置位置精準,傳動結構無需調整,工序少,節省工時,提高了芯片的檢測效率,墊片槽內的支撐墊片、銷釘可防止芯片在傳動過程中因過壓而損傷,提高芯片檢測的合格率,減少損失,壓塊可保護吸嘴不會因高溫而損壞,同時加熱盤采用機加工制作,且本實用的測試機構可同時檢測四個芯片,加熱盤可放置多個芯片,可同時對上百個芯片進行加熱測試,效率高。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





