[實用新型]一種芯片加熱測試機構有效
| 申請號: | 202020543002.6 | 申請日: | 2020-04-14 |
| 公開(公告)號: | CN211578716U | 公開(公告)日: | 2020-09-25 |
| 發明(設計)人: | 榮國青;門蒙;張健星 | 申請(專利權)人: | 蘇州輝墾電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677;G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司: | 蘇州智品專利代理事務所(普通合伙) 32345 | 代理人: | 呂明霞 |
| 地址: | 215134 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 芯片 加熱 測試 機構 | ||
1.一種芯片加熱測試機構,包括連接單元、測試單元、加熱單元及傳動結構,其特征在于:所述連接單元包含治具連接板(11),所述治具連接板(11)上設有四個直線排列的第一芯片槽(12),所述治具連接板(11)上設有四個方形排列的墊片槽(13),所述墊片槽(13)對稱布置在第一芯片槽(12)的前后兩側;
所述測試單元包含基座(21),所述基座(21)上設有直線排列的四個第二芯片槽(24)和四個第二銷釘(23),所述第二芯片槽(24)的前后兩側分別設有第二感應槽(25)、第一感應槽(22);
所述加熱單元包含加熱盤(31),所述加熱盤(31)上開設有第三芯片槽(32),所述加熱盤(31)的左右兩側設有把手(33);
所述傳動結構包含連接基板(41)、吸嘴固定塊(42)、壓塊(43)、吸嘴(44),所述吸嘴固定塊(42)固定在連接基板(41)上,所述壓塊(43)設置于吸嘴固定塊的下方并和連接基板(41)連接,所述吸嘴(44)固定在吸嘴固定塊(42)上并和連接基板(41)、壓塊(43)連接。
2.根據權利要求1所述的一種芯片加熱測試機構,其特征在于:所述治具連接板(11)上設有四個第一銷釘(15),其布置于第一芯片槽(12)的兩側,相鄰兩個所述第一銷釘(15)間的距離和相鄰兩個第二銷釘(23)間的距離相等,所述墊片槽(13)內連接有支撐墊片(14)。
3.根據權利要求1所述的一種芯片加熱測試機構,其特征在于:所述壓塊(43)上設有兩個定位孔(46),兩個所述定位孔(46)間的距離和相鄰兩個第二銷釘(23)間的距離相等。
4.根據權利要求1所述的一種芯片加熱測試機構,其特征在于:所述第一芯片槽(12)、第三芯片槽(32)均采用通槽設計,所述第二芯片槽(24)采用盲槽設計,其槽底設有通孔。
5.根據權利要求1所述的一種芯片加熱測試機構,其特征在于:所述傳動結構設有兩個吸嘴(44)及兩個吸嘴固定塊(42),相鄰的兩個所述第一芯片槽(12)、兩個第二芯片槽(24)、兩個第三芯片槽(32)間的距離均和兩個吸嘴(44)間的距離相等。
6.根據權利要求1所述的一種芯片加熱測試機構,其特征在于:所述第三芯片槽(32)采用多槽位設計,均勻布置在加熱盤(31)上。
7.根據權利要求1所述的一種芯片加熱測試機構,其特征在于:所述加熱盤(31)上的第三芯片槽(32)采用機加工切割設計。
8.根據權利要求1所述的一種芯片加熱測試機構,其特征在于:所述第一感應槽(22)和第二感應槽(25)的深度不相等,二者呈一條直線設計,且從第二芯片槽(24)的中心穿過。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





