[實用新型]一種大尺寸硅片制絨承載裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020451050.2
• 申請日: 2020-04-01
• 公開（公告）號: CN211929464U
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱軍;談錦彪;從海泉;苗勁飛;馬擎天
• 申請（專利權(quán)）人: 環(huán)晟光伏（江蘇）有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L31/18;H01L31/0236;C30B33/10
• 代理公司: 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，包括側(cè)桿組件和底桿組件，在所述側(cè)桿組件和所述底桿組件兩者中：

其中一者被繞設(shè)有第一齒槽，另一者被繞設(shè)有第二齒槽；

或兩者均被繞設(shè)有所述第一齒槽；

或均被繞設(shè)有所述第二齒槽；

所述第一齒槽和所述第二齒槽均沿所述側(cè)桿組件和所述底桿組件長度方向設(shè)置且均朝硅片軸線設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，所述第一齒槽為相互獨立間斷設(shè)置的第一齒臺形成的通槽，所述第一齒臺側(cè)面為錐形結(jié)構(gòu)且所述錐形母線為弧線，所述第一齒臺根部厚度大于其頂部厚度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，所述第一齒臺根部弧度所對應(yīng)的角度不小于30°。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，所述第二齒槽為錯位且獨立設(shè)置的第二齒臺形成的通槽，所述第二齒臺側(cè)面為扇形結(jié)構(gòu)，相鄰所述第二齒臺扇形弧面背向設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，所述第二齒臺沿所述側(cè)桿組件或所述底桿組件的軸線向兩側(cè)設(shè)置；所述第二齒臺根部厚度大于其頂部厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，所述第一齒臺間距與所述第二齒臺間距相同；所述第一齒臺高度和所述第二齒臺高度均大于所述第一齒臺間距。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，所述第一齒臺和所述第二齒臺均垂直設(shè)置在所述側(cè)桿組件或所述底桿組件軸線方向上。

8.根據(jù)權(quán)利要求2-3、5-7任一項所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，還包括壓桿，所述壓桿軸向外壁被繞設(shè)有若干所述第一齒槽。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，還包括置于所述側(cè)桿組件和所述底桿組件兩端的端板組件，在所述端板組件上端面設(shè)有凹槽，所述凹槽與所述壓桿相適配。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種大尺寸硅片制絨承載裝置，其特征在于，所述端板組件兩端均設(shè)有若干通孔，且所述端板組件兩端設(shè)置的所述通孔數(shù)量不等。