[實用新型]襯底鍵合用對準定位夾具

有效

• 申請號: 202020430103.2
• 申請日: 2020-03-30
• 公開（公告）號: CN211805753U
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 王云翔;冒薇;段仲偉;馬冬月;祝翠梅;姚園;許愛玲
• 申請（專利權）人: 蘇州美圖半導體技術有限公司
• 主分類號: B25B11/00
• 分類號: B25B11/00
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 韓鳳

本實用新型涉及一種對準定位夾具，尤其是一種襯底鍵合用對準定位夾具，屬于晶圓鍵合定位的技術領域。在下壓頭上設置襯底切邊彈性銷以及襯底外緣彈性銷，在底座上設置彈性阻尼旋轉機構，利用彈性切邊彈性銷、襯底外緣彈性銷以及彈性阻尼旋轉機構的襯底擋片與襯底的相應接觸配合，能實現將襯底鎖定在下壓頭上，實現兩塊襯底的對準定位，為后續襯底的鍵合提供保障，提高鍵合效率以及鍵合良率，使用方便，安全可靠。

技術領域

本實用新型涉及一種對準定位夾具，尤其是一種襯底鍵合用對準定位夾具，屬于晶圓鍵合定位的技術領域。

背景技術

在對硅晶圓等襯底鍵合時，需要保證兩鍵合的襯底正對準。由于襯底呈圓片狀，在對兩襯底鍵合時，存在襯底在對準過程中轉動的情況，從而導致鍵合的襯底無法確保有效對準，影響鍵合效率，也導致鍵合的良率較差。

發明內容

本實用新型的目的是克服現有技術中存在的不足，提供一種襯底鍵合用對準定位夾具，其結構緊湊，能有效實現待鍵合襯底的對準定位，提高鍵合效率以及鍵合良率，使用方便，安全可靠。

按照本實用新型提供的技術方案，所述襯底鍵合用對準定位夾具，包括底座，在所述底座的上方設置用于間隔兩個待鍵合襯底的夾具體組件，在所述夾具體組件的內圈設置用于支撐襯底的下壓頭；

在所述下壓頭上設置彈性銷組，在所述下壓頭的外側設置彈性阻尼旋轉機構，所述彈性阻尼旋轉機構裝配于底座上；所述彈性銷組包括襯底切邊彈性銷以及設置于襯底切邊彈性銷兩側的襯底外緣彈性銷；襯底支撐于下壓頭上時，襯底切邊彈性銷能與襯底的切邊對應，襯底外緣彈性銷位于襯底的外緣外側；

所述彈性阻尼旋轉機構包括襯底擋片以及與所述襯底擋片適配的擋片連接體，所述襯底擋片通過擋片連接體能在底座上方轉動，襯底擋片轉動后能與襯底的外緣接觸，襯底擋片與襯底外緣的緊密接觸區位于襯底切邊彈性銷的正對側；通過襯底擋片與襯底外緣的緊密接觸，能使得襯底的切邊與襯底切邊彈性銷靠齊，且襯底的外緣與襯底外緣彈性銷緊密接觸，以將襯底鎖定在下壓頭上。

在下壓頭上設置兩個襯底切邊彈性銷；在下壓頭的正上方設置上壓頭，通過上壓頭與下壓頭配合，能將下壓頭上兩塊正對準的襯底壓緊貼合；在將兩塊襯底壓緊貼合時，上壓頭能將彈性銷組以及襯底擋片向靠近底座的方向壓縮。

所述擋片連接體包括底座連接板以及設置于所述底座連接板上的擋片連接套筒，擋片連接套筒通過底座連接板能安裝于底座上；

在所述擋片連接套筒內設置擋片套筒彈簧以及位于所述擋片套筒彈簧上方的擋片導向軸，襯底擋片通過臺階螺絲固定于擋片導向軸位于擋片連接套筒外的端部，擋片導向軸位于擋片連接套筒內的下部套有導向軸襯套，在擋片連接套筒的外壁上設置用于鎖定導向軸襯套的襯套鎖定螺絲，擋片導向軸在擋片連接套筒內向靠近擋片套筒彈簧運動時，能壓縮所述擋片套筒彈簧，且擋片導向軸能相對襯套鎖定螺絲運動。

擋片導向軸位于擋片連接套筒內的端部設置軸擋塊，所述軸擋塊通過軸擋塊連接螺絲固定在擋片導向軸的端部，擋片導向軸通過軸擋塊能與擋片套筒彈簧接觸配合。

所述夾具體組件包括夾具環板以及設置于所述夾具環板上的襯底間隔調節機構，所述襯底間隔調節機構包括用于間隔襯底的襯底墊片以及用于調節襯底墊片位置狀態的墊片位置調節機構，襯底墊片位于兩襯底之間時，能對襯底進行間隔，通過襯底間隔調節機構能拉動襯底墊片從襯底間退出。

所述襯底間隔調節機構包括能在夾具環板上滑動的墊片滑塊以及能拉動墊片滑塊在夾具環板上運動的滑塊拉簧，在所述墊片滑塊的頭端端部設置墊片連塊，襯底墊片通過墊片連塊能與墊片滑塊連接；

還包括與墊片滑塊適配的滑塊插銷以及與所述滑塊插銷適配的插銷座，墊片滑塊上設置與滑塊插銷適配的滑塊插銷孔，滑塊插銷孔貫通墊片滑塊，且滑塊插銷孔的長度方向與墊片滑塊在夾具環板上滑動方向相一致；墊片滑塊貫穿插銷座，所述插銷座固定在夾具環板上，墊片滑塊能相對插銷座運動；