[實(shí)用新型]襯底鍵合用對(duì)準(zhǔn)定位夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020430103.2
• 申請(qǐng)日: 2020-03-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211805753U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王云翔;冒薇;段仲偉;馬冬月;祝翠梅;姚園;許愛(ài)玲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): B25B11/00
• 分類號(hào): B25B11/00
• 代理公司: 蘇州國(guó)誠(chéng)專利代理有限公司 32293
• 代理人: 韓鳳

1.一種襯底鍵合用對(duì)準(zhǔn)定位夾具，包括底座(1)，在所述底座(1)的上方設(shè)置用于間隔兩個(gè)待鍵合襯底(10)的夾具體組件，在所述夾具體組件的內(nèi)圈設(shè)置用于支撐襯底(10)的下壓頭(4)；其特征是：

在所述下壓頭(4)上設(shè)置彈性銷(xiāo)組，在所述下壓頭(4)的外側(cè)設(shè)置彈性阻尼旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(11)，所述彈性阻尼旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(11)裝配于底座(1)上；所述彈性銷(xiāo)組包括襯底切邊彈性銷(xiāo)(8)以及設(shè)置于襯底切邊彈性銷(xiāo)(8)兩側(cè)的襯底外緣彈性銷(xiāo)(9)；襯底(10)支撐于下壓頭(4)上時(shí)，襯底切邊彈性銷(xiāo)(8)能與襯底(10)的切邊對(duì)應(yīng)，襯底外緣彈性銷(xiāo)(9)位于襯底(10)的外緣外側(cè)；

所述彈性阻尼旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(11)包括襯底擋片(18)以及與所述襯底擋片(18)適配的擋片連接體，所述襯底擋片(18)通過(guò)擋片連接體能在底座(1)上方轉(zhuǎn)動(dòng)，襯底擋片(18)轉(zhuǎn)動(dòng)后能與襯底(10)的外緣接觸，襯底擋片(18)與襯底(10)外緣的緊密接觸區(qū)位于襯底切邊彈性銷(xiāo)(8)的正對(duì)側(cè)；通過(guò)襯底擋片(18)與襯底(10)外緣的緊密接觸，能使得襯底(10)的切邊與襯底切邊彈性銷(xiāo)(8)靠齊，且襯底(10)的外緣與襯底外緣彈性銷(xiāo)(9)緊密接觸，以將襯底(10)鎖定在下壓頭(4)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底鍵合用對(duì)準(zhǔn)定位夾具，其特征是：在下壓頭(4)上設(shè)置兩個(gè)襯底切邊彈性銷(xiāo)(8)；在下壓頭(4)的正上方設(shè)置上壓頭(41)，通過(guò)上壓頭(41)與下壓頭(4)配合，能將下壓頭(4)上兩塊正對(duì)準(zhǔn)的襯底(10)壓緊貼合；在將兩塊襯底(10)壓緊貼合時(shí)，上壓頭(41)能將彈性銷(xiāo)組以及襯底擋片(18)向靠近底座(1)的方向壓縮。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的襯底鍵合用對(duì)準(zhǔn)定位夾具，其特征是：所述擋片連接體包括底座連接板(13)以及設(shè)置于所述底座連接板(13)上的擋片連接套筒(15)，擋片連接套筒(15)通過(guò)底座連接板(13)能安裝于底座(1)上；

在所述擋片連接套筒(15)內(nèi)設(shè)置擋片套筒彈簧(20)以及位于所述擋片套筒彈簧(20)上方的擋片導(dǎo)向軸(17)，襯底擋片(18)通過(guò)臺(tái)階螺絲(19)固定于擋片導(dǎo)向軸(17)位于擋片連接套筒(15)外的端部，擋片導(dǎo)向軸(17)位于擋片連接套筒(15)內(nèi)的下部套有導(dǎo)向軸襯套(21)，在擋片連接套筒(15)的外壁上設(shè)置用于鎖定導(dǎo)向軸襯套(21)的襯套鎖定螺絲(16)，擋片導(dǎo)向軸(17)在擋片連接套筒(15)內(nèi)向靠近擋片套筒彈簧(20)運(yùn)動(dòng)時(shí)，能壓縮所述擋片套筒彈簧(20)，且擋片導(dǎo)向軸(17)能相對(duì)擋片連接套筒(15)運(yùn)動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的襯底鍵合用對(duì)準(zhǔn)定位夾具，其特征是：擋片導(dǎo)向軸(17)位于擋片連接套筒(15)內(nèi)的端部設(shè)置軸擋塊(22)，所述軸擋塊(22)通過(guò)軸擋塊連接螺絲(23)固定在擋片導(dǎo)向軸(17)的端部，擋片導(dǎo)向軸(17)通過(guò)軸擋塊(22)能與擋片套筒彈簧(20)接觸配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底鍵合用對(duì)準(zhǔn)定位夾具，其特征是：所述夾具體組件包括夾具環(huán)板(7)以及設(shè)置于所述夾具環(huán)板(7)上的襯底間隔調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述襯底間隔調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括用于間隔襯底(10)的襯底墊片(25)以及用于調(diào)節(jié)襯底墊片(25)位置狀態(tài)的墊片位置調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，襯底墊片(25)位于兩襯底(10)之間時(shí)，能對(duì)襯底(10)進(jìn)行間隔，通過(guò)襯底間隔調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)能拉動(dòng)襯底墊片(25)從襯底(10)間退出。