[實(shí)用新型]一種晶圓片對碼機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020418662.1
• 申請日: 2020-03-27
• 公開（公告）號: CN211788929U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛小賓
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市賽平精密技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 深圳市宏德雨知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44526
• 代理人: 李捷

本實(shí)用新型公開了一種晶圓片對碼機(jī)，包括機(jī)體，所述機(jī)體的一側(cè)壁陣列設(shè)有若干個晶周盒組，所述晶周盒組由兩個晶周盒組成，且兩個晶周盒處于同一豎直線上，所述機(jī)體的內(nèi)部固定有基準(zhǔn)板，所述基準(zhǔn)板頂部固定有X軸直線電機(jī)，所述X軸直線電機(jī)的輸出軸固定有Z軸直線電機(jī)，所述Z軸直線電機(jī)的輸出端固定有安裝架，所述安裝架上安裝有吸取裝置和CCD識別裝置，所述晶周盒內(nèi)設(shè)有若干個容納槽，所述晶周盒組中位于上層的晶周盒內(nèi)的容納槽內(nèi)均設(shè)有晶圓片，此晶圓片對碼機(jī)，通過CCD相機(jī)對晶圓片底部邊緣的編號進(jìn)行精準(zhǔn)識別，與人工對碼相比較，識別精度高，效率更高，避免產(chǎn)生對碼錯誤，同時能夠保證晶圓片的清潔度，保證了晶圓片的質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓識別技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種晶圓片對碼機(jī)。

背景技術(shù)

晶圓(Wafer)是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅芯片，每一片晶圓都有一個編號，即晶圓ID(Wafer ID)。實(shí)際晶圓片生產(chǎn)中，部分晶圓生產(chǎn)廠商會將晶圓編號ID刻在晶圓背面，刻碼后的晶圓片編碼順序比較亂，為了方便對晶圓片進(jìn)行追蹤往往需要對晶圓片進(jìn)行對碼排序，人工對碼，對碼容易產(chǎn)生錯誤，效率比較低，而且容易對晶圓片造成污染。為此，我們提出一種晶圓片對碼機(jī)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓片對碼機(jī)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種晶圓片對碼機(jī)，包括機(jī)體，所述機(jī)體的一側(cè)壁陣列設(shè)有若干個晶周盒組，所述晶周盒組由兩個晶周盒組成，且兩個晶周盒處于同一豎直線上；

所述機(jī)體的內(nèi)部固定有基準(zhǔn)板，所述基準(zhǔn)板頂部固定有X軸直線電機(jī)，所述X軸直線電機(jī)的輸出軸固定有Z軸直線電機(jī)，所述Z軸直線電機(jī)的輸出端固定有安裝架，所述安裝架上安裝有吸取裝置和CCD識別裝置。

優(yōu)選的，所述晶周盒內(nèi)設(shè)有若干個容納槽，所述晶周盒組中位于上層的晶周盒內(nèi)的容納槽內(nèi)均設(shè)有晶圓片，所述晶圓片底部邊緣處設(shè)有編號。

優(yōu)選的，所述安裝架包括頂板和固定在頂板底部兩側(cè)的鏤空側(cè)板，所述鏤空側(cè)板整體呈L形。

優(yōu)選的，所述晶圓片吸取裝置包括無桿氣缸、吸盤轉(zhuǎn)接板和吸盤，所述無桿氣缸的輸出軸固定有吸盤轉(zhuǎn)接板，所述吸盤轉(zhuǎn)接板的一側(cè)嵌入安裝有用于吸取晶圓片的吸盤。

優(yōu)選的，兩個所述鏤空側(cè)板之間固定有安裝板，所述安裝板的底部嵌入安裝有用于鑒別編號的CCD相機(jī)，所述安裝板的頂部安裝有補(bǔ)光燈。

優(yōu)選的，所述吸盤遠(yuǎn)離吸盤轉(zhuǎn)接板的一端頂部設(shè)有用于與晶圓片相配合的弧形槽，且弧形槽、補(bǔ)光燈和CCD相機(jī)處于同一豎直平面內(nèi)。

優(yōu)選的，所述吸盤遠(yuǎn)離吸盤轉(zhuǎn)接板的一端呈圓弧形，且圓弧形的直徑小于晶圓片的直徑。

優(yōu)選的，所述機(jī)體的一側(cè)對稱固定有治具底板，所述治具底板的頂部固定有卡軌，且晶周盒的底部設(shè)有卡槽，且卡槽與卡軌相配合。

優(yōu)選的，所述機(jī)體上正對晶周盒處通過鉸鏈安裝有密封門，所述密封門上安裝有把手。

優(yōu)選的，所述機(jī)體的一側(cè)位于密封門的上方設(shè)有控制面板，所述頂板頂部設(shè)有PLC控制器，且PLC控制器電性連接CCD相機(jī)、補(bǔ)光燈、無桿氣缸、X軸直線電機(jī)和Z軸直線電機(jī)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：通過CCD相機(jī)對晶圓片底部邊緣的編號進(jìn)行精準(zhǔn)識別，與人工對碼相比較，識別精度高，效率更高，避免產(chǎn)生對碼錯誤，同時能夠保證晶圓片的清潔度，保證了晶圓片的質(zhì)量。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型機(jī)體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型晶周盒結(jié)構(gòu)示意圖；