[實用新型]一種晶圓片對碼機

有效

• 申請號: 202020418662.1
• 申請日: 2020-03-27
• 公開（公告）號: CN211788929U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 薛小賓
• 申請（專利權）人: 深圳市賽平精密技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 深圳市宏德雨知識產權代理事務所(普通合伙) 44526
• 代理人: 李捷

1.一種晶圓片對碼機，包括機體(1)，其特征在于：所述機體(1)的一側壁陣列設有若干個晶周盒組(2)，所述晶周盒組(2)由兩個晶周盒(3)成，且兩個晶周盒(3)處于同一豎直線上；

所述機體(1)的內部固定有基準板(4)，所述基準板(4)頂部固定有X軸直線電機(5)，所述X軸直線電機(5)的輸出軸固定有Z軸直線電機(6)，所述Z軸直線電機(6)的輸出端固定有安裝架(7)，所述安裝架(7)上安裝有吸取裝置(8)和CCD識別裝置(9)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：所述晶周盒(3)內設有若干個容納槽(10)，所述晶周盒組(2)中位于上層的晶周盒(3)內的容納槽(10)內均設有晶圓片(11)，所述晶圓片(11)底部邊緣處設有編號(12)。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：所述安裝架(7)包括頂板(13)和固定在頂板(13)底部兩側的鏤空側板(14)，所述鏤空側板(14)整體呈L形。

4.根據權利要求2所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：所述晶圓片(11)吸取裝置(8)包括無桿氣缸(15)、吸盤轉接板(16)和吸盤(17)，所述無桿氣缸(15)的輸出軸固定有吸盤轉接板(16)，所述吸盤轉接板(16)的一側嵌入安裝有用于吸取晶圓片(11)的吸盤(17)。

5.根據權利要求3所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：兩個所述鏤空側板(14)之間固定有安裝板(18)，所述安裝板(18)的底部嵌入安裝有用于鑒別編號(12)的CCD相機(19)，所述安裝板(18)的頂部安裝有補光燈(20)。

6.根據權利要求4所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：所述吸盤(17)遠離吸盤轉接板(16)的一端頂部設有用于與晶圓片(11)相配合的弧形槽(21)，且弧形槽(21)、補光燈(20)和CCD相機(19)處于同一豎直平面內。

7.根據權利要求4所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：所述吸盤(17)遠離吸盤轉接板(16)的一端呈圓弧形，且圓弧形的直徑小于晶圓片(11)的直徑。

8.根據權利要求3所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：所述機體(1)的一側對稱固定有治具底板(22)，所述治具底板(22)的頂部固定有卡軌(23)，且晶周盒(3)的底部設有卡槽(24)，且卡槽(24)與卡軌(23)相配合。

9.根據權利要求8所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：所述機體(1)上正對晶周盒(3)處通過鉸鏈安裝有密封門(25)，所述密封門(25)上安裝有把手(26)。

10.根據權利要求9所述的一種晶圓片對碼機，其特征在于：所述機體(1)的一側位于密封門(25)的上方設有控制面板(27)，所述頂板(13)頂部設有PLC控制器(28)，且PLC控制器(28)電性連接CCD相機(19)、補光燈(20)、無桿氣缸(15)、X軸直線電機(5)和Z軸直線電機(6)。