[實用新型]可精細控制溫度的晶圓蒸發臺

有效

• 申請號: 202020409416.X
• 申請日: 2020-03-27
• 公開（公告）號: CN211858602U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 田英干
• 申請（專利權）人: 嘉興晶裝電子科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 王大國

1.可精細控制溫度的晶圓蒸發臺，包括真空蒸發器本體(1)與設置在真空蒸發器本體(1)上的真空泵(2)，其特征在于，所述真空泵(2)的外側設置有吸音機構(3)，所述吸音機構(3)包括直角板(4)與四個金屬吸音板(5)，所述直角板(4)上設置有若干凸起筋(6)，且凸起筋(6)上設置有第一六角螺絲(7)，相鄰的兩個所述金屬吸音板(5)之間設置有第一直角片(8)，且第一直角片(8)上設置有兩個第二六角螺絲(9)，所述直角板(4)的底部貫穿有排氣管(10)，所述直角板(4)一側貫穿有第一導管(11)，且真空泵(2)上設置有第二導管(12)，所述直角板(4)的一側通過第一螺栓固定安裝有直角盒(13)，且直角盒(13)的內部設置有內腔(14)，所述直角盒(13)上設置有第二直角片(15)，且第二直角片(15)上開設有若干透氣孔(16)，所述第二直角片(15)通過安裝螺釘(17)固定安裝在直角盒(13)上，所述直角盒(13)的頂部固定有進氣管(18)。

2.根據權利要求1所述的可精細控制溫度的晶圓蒸發臺，其特征在于，所述排氣管(10)與直角板(4)焊接連接，且排氣管(10)的上端外表面與直角板(4)的上端外表面相平齊。

3.根據權利要求1所述的可精細控制溫度的晶圓蒸發臺，其特征在于，相鄰的兩個所述金屬吸音板(5)通過兩個第二六角螺絲(9)與第一直角片(8)固定連接，所述金屬吸音板(5)通過第一六角螺絲(7)與凸起筋(6)固定連接。

4.根據權利要求1所述的可精細控制溫度的晶圓蒸發臺，其特征在于，所述第一導管(11)的一端與真空蒸發器本體(1)的真空室相連通，且第一導管(11)的另一端與真空泵(2)的進風端相連通，所述第二導管(12)的一端與真空泵(2)的出風端相連通，且第二導管(12)的另一端與進氣管(18)相連通。

5.根據權利要求1所述的可精細控制溫度的晶圓蒸發臺，其特征在于，所述真空泵(2)通過第二螺栓固定安裝在直角板(4)上。

6.根據權利要求1所述的可精細控制溫度的晶圓蒸發臺，其特征在于，所述直角板(4)的底部安裝有四個萬向輪(19)，四個所述萬向輪(19)分別位于直角板(4)底端外表面的四個拐角處。