[實用新型]陰極驅動單元和用于在基板上沉積材料的沉積設備

有效

• 申請號: 202020398864.4
• 申請日: 2020-03-25
• 公開（公告）號: CN212388105U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 約阿希姆·索尼森;丹尼爾·謝弗·科皮托;托比亞斯·伯格曼
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

1.一種可連接至陰極組件的陰極驅動單元，其特征在于所述陰極驅動單元包括：

冷卻劑排放通道；

第一密封件和第二密封件，所述第一密封件和所述第二密封件分別位于所述冷卻劑排放通道的第一側上；和

第三密封件，所述第三密封件位于所述冷卻劑排放通道的第二側上，所述第二側與所述第一側相對。

2.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述第一密封件、所述第二密封件和所述第三密封件為環形密封件。

3.如權利要求2所述的陰極驅動單元，其中所述第一密封件、所述第二密封件和所述第三密封件為實質上同心的密封件。

4.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述第一密封件、所述第二密封件和所述第三密封件為固定密封件。

5.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述第一密封件、所述第二密封件和所述第三密封件被配置成與實質圓柱形的可旋轉部件滑動接觸。

6.如權利要求1所述的陰極驅動單元，進一步包括油脂存儲區域，所述油脂存儲區域存儲一定量的油脂用于潤滑所述第二密封件。

7.如權利要求6所述的陰極驅動單元，其中所述第一密封件與所述第二密封件間隔開，其中所述油脂存儲區域介于所述第一密封件與所述第二密封件之間。

8.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述第一密封件是一級密封件，用于防止冷卻劑到達所述陰極驅動單元的主體部分。

9.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述第二密封件是二級密封件，用于在所述第一密封件已被沖破的情況下防止冷卻劑到達所述陰極驅動單元的主體部分。

10.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述第三密封件是三級密封件，用于在所述第一密封件和所述第二密封件已被沖破的情況下防止冷卻劑到達所述陰極驅動單元的主體部分。

11.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述冷卻劑排放通道被配置用于排放所述陰極組件的冷卻劑。

12.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述冷卻劑排放通道被布置成排放已通過所述第二密封件泄漏的冷卻劑。

13.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述冷卻劑排放通道被布置成排放已通過所述第一密封件和所述第二密封件泄漏的冷卻劑。

14.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述冷卻劑排放通道與所述第二密封件和所述第三密封件之間的區域流體連通。

15.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述冷卻劑排放通道是管狀通道，所述管狀通道具有設置在所述第二密封件與所述第三密封件之間的第一端，其中所述第一密封件和所述第二密封件設置在所述第一端的同一側上。

16.如權利要求1所述的陰極驅動單元，其中所述陰極驅動單元被配置用于：

向所述陰極組件供電；或

向所述陰極組件供應冷卻劑；或

驅動所述陰極組件的旋轉；或

上述的任何組合。

17.一種可連接至陰極組件的陰極驅動單元，其特征在于所述陰極驅動單元包括：

冷卻劑排放通道；

第一密封件和第二密封件，所述第一密封件和所述第二密封件分別位于所述冷卻劑排放通道的第一側上；和

油脂存儲區域，所述油脂存儲區域存儲一定量的油脂以潤滑所述第二密封件。