[實用新型]一種多晶硅片制絨裝置

有效

• 申請號: 202020384499.1
• 申請日: 2020-03-24
• 公開（公告）號: CN211897171U
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 傅華;高小云;劉兵;金炳生
• 申請（專利權）人: 蘇州晶瑞化學股份有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 王麗

本實用新型公開了一種多晶硅片制絨裝置，包括容置有制絨液的制絨槽以及安裝在制絨槽內用于承載并帶動多晶硅片移動的若干移動輥，制絨槽的頂端開口，制絨槽的底端設置有多個進液管，制絨液通過多個進液管進入制絨槽內；制絨槽的兩側還設置有一對貫穿口，多晶硅片通過一對貫穿口穿過制絨槽；若干移動輥轉動設置在制液槽內用于帶動多晶硅片進行移動；單個移動輥上設置有用于承載多晶硅片的環形容置槽；制絨槽上設置有電加熱管。本實用新型結構簡單，制絨槽包括內殼體和外殼體，在內殼體和外殼體之間的間隙內設置有多個電加熱管，通過加熱的方式提高溫度，尤其是在低溫環境下，能夠有效提高制絨效率，方便實用。

技術領域

本實用新型涉及多晶硅片制絨技術領域，尤其涉及一種多晶硅片制絨裝置。

背景技術

現有技術申請公布號為CN108963033A的發明專利多晶硅片制絨裝置及方法，包括制絨槽以及設置在制絨槽內用于帶動硅片移動的移動輥，所述制絨槽底部靠近硅片進入位置設有回流管，所述制絨槽底部靠近硅片退出位置設有進液管，且所述制絨槽的硅片進入位置以及硅片退出位置處設有用于阻擋藥液流出的擋液輪，這種多晶硅制絨裝置及方法制絨效果較好。但是在實際操作時，多晶硅片與制絨液的反應效率與溫度有關，尤其是在低溫狀態下，多晶硅的制絨效率較低。

因此，為了克服背景技術中的不足與缺陷，本實用新型提供一種多晶硅片制絨裝置，在制絨槽的內外殼體之間設置有多個電加熱管，通過加熱提高溫度，尤其是在低溫環境下，能夠有效提高制絨效率。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種多晶硅片制絨裝置。

本實用新型是通過以下技術方案來實現的：

一種多晶硅片制絨裝置，包括容置有制絨液的制絨槽以及安裝在制絨槽內用于承載并帶動多晶硅片移動的若干移動輥，其中：

所述制絨槽的頂端開口，制絨槽的底端設置有多個進液管，制絨液通過多個進液管進入制絨槽內；

制絨槽的兩側還設置有一對貫穿口，多晶硅片通過一對貫穿口穿過制絨槽；

若干移動輥轉動設置在制液槽內用于帶動多晶硅片進行移動；

單個所述移動輥上設置有用于承載多晶硅片的環形容置槽；

所述制絨槽上設置有電加熱管。

采用以上技術方案，所述制絨槽的底部呈上寬下窄的梯臺結構。

采用以上技術方案，所述制絨槽的頂部設置有一對擋板，一對擋板向內傾斜設置。

采用以上技術方案，所述制絨槽包括內殼體和外殼體，所述內殼體和外殼體之間預留有間隙，間隙內容置有多個電加熱管。

采用以上技術方案，所述制絨槽的外殼體為保溫材料。

采用以上技術方案，單個所述移動輥包括輥體和用于帶動輥體轉動的輥軸，輥體的兩端設置有凸緣。

本實用新型的有益效果是：本實用新型結構簡單，制絨槽包括內殼體和外殼體，在內殼體和外殼體之間的間隙內設置有多個電加熱管，通過加熱的方式提高溫度，尤其是在低溫環境下，能夠有效提高制絨效率，方便實用。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例1的結構示意圖。

圖2為本實用新型移動輥的結構示意圖。

圖3為圖2上A部的局部放大示意圖。

圖4為本實用新型實施例2的結構示意圖。

其中：

1、制絨槽；

11、貫穿口；

12、內殼體；