[實(shí)用新型]一種多晶硅片制絨裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020384499.1 | 申請日： | 2020-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN211897171U | 公開（公告）日： | 2020-11-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 傅華;高小云;劉兵;金炳生 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州晶瑞化學(xué)股份有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 蘇州國誠專利代理有限公司 32293 | 代理人： | 王麗 |
| 地址： | 215000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 多晶 硅片 裝置 | ||
1.一種多晶硅片制絨裝置，其特征在于：包括容置有制絨液的制絨槽以及安裝在制絨槽內(nèi)用于承載并帶動多晶硅片移動的若干移動輥，其中：
所述制絨槽的頂端開口，制絨槽的底端設(shè)置有多個進(jìn)液管，制絨液通過多個進(jìn)液管進(jìn)入制絨槽內(nèi)；
制絨槽的兩側(cè)還設(shè)置有一對貫穿口，多晶硅片通過一對貫穿口穿過制絨槽；
若干移動輥轉(zhuǎn)動設(shè)置在制液槽內(nèi)用于帶動多晶硅片進(jìn)行移動；
單個所述移動輥上設(shè)置有用于承載多晶硅片的環(huán)形容置槽；
所述制絨槽上設(shè)置有電加熱管。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片制絨裝置，其特征在于：所述制絨槽的底部呈上寬下窄的梯臺結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片制絨裝置，其特征在于：所述制絨槽的頂部設(shè)置有一對擋板，一對擋板向內(nèi)傾斜設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片制絨裝置，其特征在于：所述制絨槽包括內(nèi)殼體和外殼體，所述內(nèi)殼體和外殼體之間預(yù)留有間隙，間隙內(nèi)容置有多個電加熱管。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種多晶硅片制絨裝置，其特征在于：所述制絨槽的外殼體為保溫材料。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅片制絨裝置，其特征在于：單個所述移動輥包括輥體和用于帶動輥體轉(zhuǎn)動的輥軸，輥體的兩端設(shè)置有凸緣。
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