[實用新型]氣體質(zhì)量流量控制器檢測模塊及設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020355928.2 | 申請日： | 2020-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN211403235U | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬弢;牛曉;張福林;楊健 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京曉韜科技有限公司 |
| 主分類號： | G05B23/02 | 分類號： | G05B23/02;G05D7/00 |
| 代理公司： | 北京細軟智谷知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11471 | 代理人： | 張雄 |
| 地址： | 101149 北京市通州區(qū)*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氣體 質(zhì)量 流量 控制器 檢測 模塊 設(shè)備 | ||
本實用新型涉及一種氣體質(zhì)量流量控制器檢測模塊及設(shè)備，該設(shè)備包括：設(shè)備本體；設(shè)備本體上設(shè)置有：操作臺、檢測模塊、氣源提供模塊、數(shù)據(jù)采集模塊、電源提供模塊；操作臺與檢測模塊，通過第一待測氣體質(zhì)量流量控制器接入接口相連；氣源提供模塊與檢測模塊相連；數(shù)據(jù)采集模塊與檢測模塊相連；電源提供模塊，分別與數(shù)據(jù)采集模塊、檢測模塊相連。通過設(shè)立不同氣源，實現(xiàn)同時檢測不同氣源要求的MFC的檢測，設(shè)定多路氣路，增加了檢測個數(shù)，實現(xiàn)綜合性的MFC性能指標參數(shù)檢測，測試并評價MFC精度，線性，重復性，響應(yīng)時間等全部基于國標參數(shù)的關(guān)鍵參數(shù)，并能夠?qū)崿F(xiàn)多種控制模式的自動檢測，數(shù)據(jù)記錄，自動打印報告。
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種氣體質(zhì)量流量控制器檢測模塊及設(shè)備。
背景技術(shù)
氣體質(zhì)量流量控制器((Mass Flow Controller，MFC)是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置，主要用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制，在半導體微電子工業(yè)、特種材料研制、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生中有著重要的應(yīng)用。因此，氣體質(zhì)量流量控制器的本身是否合格，性能指標參數(shù)是否合格，至關(guān)重要。
目前，在現(xiàn)有技術(shù)中，對MFC的質(zhì)量檢測，往往是生產(chǎn)廠商在產(chǎn)品裝配生產(chǎn)后由質(zhì)檢進行檢測，每個質(zhì)檢員檢測一臺MFC的性能參數(shù)，其中包括必須滿足國家標準的參數(shù)指標，精度，線性度，響應(yīng)時間等性能參數(shù)，每個質(zhì)檢員檢查每一個步驟時都需要更換相應(yīng)的標準設(shè)備和控制設(shè)備逐一連接后開始檢測，檢測后記錄數(shù)據(jù)，計算，判斷是否合格，填寫出廠檢測報告，流水線工作，程序繁瑣，浪費人力資源。
因此，現(xiàn)在技術(shù)中的MFC檢測存在操作繁瑣、浪費時間、人力的技術(shù)問題。
實用新型內(nèi)容
為了至少解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，本實用新型提供了一種氣體質(zhì)量流量控制器檢測模塊及設(shè)備。
本實用新型提供的技術(shù)方案如下：
一方面，一種氣體質(zhì)量流量控制器檢測模塊，所述檢測模塊包括第一子檢測模塊，所述第一子檢測模塊的輸入端連接第一氣源；
所述第一子檢測模塊，包括：過濾器、第一入口截止閥、第一檢測單元、第一壓力傳感器、第一出口截止閥；所述第一檢測單元，包括：第一待測氣體質(zhì)量流量控制器接入接口和第一流量標準，所述第一待測氣體質(zhì)量流量控制器接入接口和所述第一流量標準串聯(lián)；
所述過濾器連接所述第一入口截止閥，所述第一入口截止閥連接所述第一檢測單元，所述第一檢測單元連接所述第一壓力傳感器，所述第一壓力傳感器連接所述第一出口截止閥；
第一待測氣體質(zhì)量流量控制器通過所述第一待測氣體質(zhì)量流量控制器接入接口接入所述第一檢測單元，進行檢測。
可選地，還包括：第一分組單元；所述第一分組單元連接所述第一入口截止閥和所述第一檢測單元；
所述第一分組單元，包括：至少一個第一子分組單元；所述第一子分組單元的個數(shù)與所述第一檢測單元的個數(shù)相同。
可選地，還包括：第二子檢測模塊，所述第二子檢測模塊的輸入端，連接第二氣源；
所述第二子檢測模塊，包括：第二入口截止閥、第二檢測單元、第二壓力傳感器、第二出口截止閥；所述第二檢測單元，包括：第二待測氣體質(zhì)量流量控制器接入接口和第二流量標準，所述第二待測氣體質(zhì)量流量控制器接入接口與所述第二流量標準串聯(lián)；
所述第二入口截止閥連接所述第二檢測單元，所述第二檢測單元連接所述第二壓力傳感器，所述第二壓力傳感器連接所述第二出口截止閥；
第二待測氣體質(zhì)量流量控制器通過所述第二待測氣體質(zhì)量流量控制器接入接口接入所述第二檢測單元，進行檢測。
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