[實用新型]氣體質量流量控制器檢測模塊及設備

有效

• 申請號: 202020355928.2
• 申請日: 2020-03-19
• 公開（公告）號: CN211403235U
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 馬弢;牛曉;張福林;楊健
• 申請（專利權）人: 北京曉韜科技有限公司
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02;G05D7/00
• 代理公司: 北京細軟智谷知識產權代理有限責任公司 11471
• 代理人: 張雄

1.一種氣體質量流量控制器檢測模塊，其特征在于，所述檢測模塊包括第一子檢測模塊，所述第一子檢測模塊的輸入端連接第一氣源；

所述第一子檢測模塊，包括：過濾器、第一入口截止閥、第一檢測單元、第一壓力傳感器、第一出口截止閥；所述第一檢測單元，包括：第一待測氣體質量流量控制器接入接口和第一流量標準，所述第一待測氣體質量流量控制器接入接口和所述第一流量標準串聯；

所述過濾器連接所述第一入口截止閥，所述第一入口截止閥連接所述第一檢測單元，所述第一檢測單元連接所述第一壓力傳感器，所述第一壓力傳感器連接所述第一出口截止閥；

第一待測氣體質量流量控制器通過所述第一待測氣體質量流量控制器接入接口接入所述第一檢測單元，進行檢測。

2.根據權利要求1所述的模塊，其特征在于，還包括：第一分組單元；所述第一分組單元連接所述第一入口截止閥和所述第一檢測單元；

所述第一分組單元，包括：至少一個第一子分組單元；所述第一子分組單元的個數與所述第一檢測單元的個數相同。

3.根據權利要求1-2任一所述的模塊，其特征在于，還包括：第二子檢測模塊，所述第二子檢測模塊的輸入端，連接第二氣源；

所述第二子檢測模塊，包括：第二入口截止閥、第二檢測單元、第二壓力傳感器、第二出口截止閥；所述第二檢測單元，包括：第二待測氣體質量流量控制器接入接口和第二流量標準，所述第二待測氣體質量流量控制器接入接口與所述第二流量標準串聯；

所述第二入口截止閥連接所述第二檢測單元，所述第二檢測單元連接所述第二壓力傳感器，所述第二壓力傳感器連接所述第二出口截止閥；

第二待測氣體質量流量控制器通過所述第二待測氣體質量流量控制器接入接口接入所述第二檢測單元，進行檢測。

4.一種氣體質量流量控制器檢測設備，其特征在于，包括：設備本體；所述設備本體上設置有：操作臺、權利要求1-3任一所述的檢測模塊、氣源提供模塊、數據采集模塊、電源提供模塊；

所述操作臺與所述檢測模塊，通過所述第一待測氣體質量流量控制器接入接口相連；

所述操作臺通過所述第一待測氣體質量流量控制器接入接口與所述檢測模塊相連；

所述氣源提供模塊與所述檢測模塊相連，所述氣源提供模塊，包括：第一氣源；

所述數據采集模塊與所述檢測模塊相連；

所述電源提供模塊，分別與所述數據采集模塊、所述檢測模塊相連。

5.根據權利要求4所述的設備，其特征在于，還包括：接口轉換模塊；所述接口轉換模塊用于為第一待測氣體質量流量控制器提供供電及通信的物理連接和轉換；

所述接口轉換模塊，包括：電源轉換接口、通信轉換接口。

6.根據權利要求4所述的設備，其特征在于，所述氣源提供模塊，還包括：第二氣源；所述第一氣源為外接鋼瓶氣源；所述第二氣源為內部供氣氣源。

7.根據權利要求4所述的設備，其特征在于，所述數據采集模塊為工控機。

8.根據權利要求4所述的設備，其特征在于，還包括：人機交互模塊；所述人機交互模塊與所述數據采集模塊相連；

所述人機交互模塊，用于與所述數據采集模塊進行數據交互。

9.根據權利要求8所述的設備，其特征在于：所述人機交互模塊，還用于根據檢測數據打印檢測報告。

10.根據權利要求4-9任一所述的設備，其特征在于，還包括：底輪；所述底輪設置在所述設備本體的底部。