[實用新型]MTJ測試電路及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020328056.0
• 申請日: 2020-03-16
• 公開（公告）號: CN212622724U
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 何世坤;王明;羅飛龍
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江馳拓科技有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京蘭亭信通知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11667
• 代理人: 陳曉瑜

本實用新型提供一種MTJ測試電路，包括：若干線性排列的測試單元，每間隔若干個測試單元選取一個測試單元并將選取的若干測試單元形成一個測試組，同一測試組的若干測試單元串聯(lián)。本實用新型的MTJ測試電路，相同面積下測量樣本數(shù)減小N?1(其中N為每一測試組中的測試單元數(shù)量)，測試效率提高N倍。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及MTJ測試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種MTJ測試電路及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

MRAM工藝研發(fā)過程中，需要進行電性，磁性，可靠性等測試在進行MTJ 性能測試時，需要對MTJ進行通電，現(xiàn)有的測試電路有兩種，一種是將MTJ 串聯(lián)導通，節(jié)省版圖面積，但是同時只能對一個MTJ進行操作；另一種是每一個MTJ連接兩個電極，可以同時操作，但版圖面積較大。

現(xiàn)有測試結(jié)構(gòu)需要的測試時間較長，嚴重影響工藝研發(fā)效率；并且，擴展性較差，嚴重制約測試效率的提升。

實用新型內(nèi)容

本實用新型提供的MTJ測試電路及系統(tǒng)，能夠提高測試效率。

第一方面，本實用新型提供一種MTJ測試電路，包括：

若干線性排列的測試單元；所述測試單元包括MTJ單元和與所述MTJ單元的信號端電連接的信號電極；

所述若干線性排列的測試單元劃分為若干測試組；

同一測試組內(nèi)相鄰兩測試單元之間間隔固定數(shù)量的測試單元；同一組內(nèi)的各測試單元依次串聯(lián)連接；

還包括若干接地電極，所述測試組的最后一個測試單元的MTJ單元與所述接地電極電連接。

可選地，所述信號電極和所述MTJ單元的排列方向與所述測試單元排列的方向交叉。

可選地，所述接地電極與所述測試單元的信號電極排列在同一直線上。

可選地，各所述測試單元與相鄰測試單元之間的間隔相同。

本實用新型的MTJ測試電路，相同面積下測量樣本數(shù)減小N-1(其中N為每一測試組中的測試單元數(shù)量)，測試效率提高N倍。并且，本實用新型無需更改測試機探針結(jié)構(gòu)，在現(xiàn)有能力基礎(chǔ)上充分并行提高效率，硬件成本低；利用現(xiàn)有工藝基礎(chǔ)，不需要增加額外的工藝步驟，工藝成本低。

第二方面，本實用新型提供一種MTJ測試系統(tǒng)，包括：

如上述任意一項所述MTJ測試電路；

若干探針對，每個探針對包括兩根探針，所述兩根探針之間的間隔與同一測試組中相鄰兩測試單元的電極間隔相同；

所述探針對的兩根探針能與所述測試單元的信號端電極和接地端電極導通。

可選地，所述探針對與測試信號源連接，所述測試信號源包括信號端和接地端，所述信號端和所述接地端分別與所述探針對的兩根探針電連接。

可選地，所述探針對的數(shù)量與所述測試組的數(shù)量相同。

可選地，各所述探針對中連接所述信號端的探針依次間隔設(shè)置，所述探針對中連接所述接地端的探針依次間隔設(shè)置；連接所述信號端的探針與連接所述接地端的探針排列順序相同。

可選地，所述探針與電極通過接觸實現(xiàn)電連接。

本實用新型的MTJ測試系統(tǒng)，相同面積下測量樣本數(shù)減小N-1(其中N為每一測試組中的測試單元數(shù)量)，測試效率提高N倍。并且，本實用新型無需更改測試機探針結(jié)構(gòu)，在現(xiàn)有能力基礎(chǔ)上充分并行提高效率，硬件成本低；利用現(xiàn)有工藝基礎(chǔ)，不需要增加額外的工藝步驟，工藝成本低。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例MTJ測試電路的示意圖；