[實(shí)用新型]IGBT模塊內(nèi)部晶圓熱阻抗的測試設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020320984.2
• 申請日: 2020-03-16
• 公開（公告）號: CN212008818U
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張偉勛;周宣;王欽黨
• 申請（專利權(quán)）人: 上海金脈電子科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01N25/20
• 代理公司: 上海唯源專利代理有限公司 31229
• 代理人: 曾耀先

本實(shí)用新型提供了一種IGBT模塊內(nèi)部晶圓熱阻抗的測試設(shè)備，包括：控溫箱，所述控溫箱內(nèi)填充有冷卻劑，所述控溫箱的側(cè)壁開設(shè)有冷卻劑輸入口和冷卻劑輸出口，所述控溫箱具有導(dǎo)熱頂板；待測IGBT模塊，安裝于所述導(dǎo)熱頂板上；紅外溫度測試儀，架設(shè)于所述導(dǎo)熱頂板的上方，所述紅外溫度測試儀對準(zhǔn)所述待測IGBT模塊；恒功率電源，連接于所述待測IGBT模塊；以及控制器，連接于所述待測IGBT模塊和所述紅外溫度測試儀。本實(shí)用新型解決了傳統(tǒng)的IGBT模塊熱阻測試方法，測試結(jié)果精確性差的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種IGBT模塊內(nèi)部晶圓熱阻抗的測試設(shè)備。

背景技術(shù)

IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)，絕緣柵雙極型晶體管，是由BJT(雙極型三極管)和MOS(絕緣柵型場效應(yīng)管)組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動式功率半導(dǎo)體器件。IGBT模塊是由IGBT(絕緣柵雙極型晶體管芯片)與FWD(續(xù)流二極管芯片)通過特定的電路橋接封裝而成的模塊化半導(dǎo)體產(chǎn)品；封裝后的IGBT模塊直接應(yīng)用于變頻器、UPS不間斷電源等設(shè)備上。IGBT是能源變換與傳輸?shù)暮诵钠骷追Q電力電子裝置的“CPU”。

IGBT模塊內(nèi)的晶圓的熱阻抗大小與IGBT模塊的安全性和可靠性密切相關(guān)，晶圓熱阻抗越大，則IGBT模塊內(nèi)部溫度越高,直接使IGBT模塊的安全性與可靠性下降。

傳統(tǒng)的熱阻測試方法，如Vce壓降溫度標(biāo)定等測試方法，只能測試溫度下降變化，并且需要進(jìn)行溫敏參數(shù)對溫度進(jìn)行標(biāo)定。溫度標(biāo)定后，在溫度轉(zhuǎn)化的過程以及數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化帶來的誤差，導(dǎo)致測試結(jié)果精確性差。

實(shí)用新型內(nèi)容

為克服現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺陷，現(xiàn)提供一種IGBT模塊內(nèi)部晶圓熱阻抗的測試設(shè)備，以解決傳統(tǒng)的IGBT模塊熱阻測試方法，測試結(jié)果精確性差的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，提供一種IGBT模塊內(nèi)部晶圓熱阻抗的測試設(shè)備，包括：

控溫箱，所述控溫箱內(nèi)填充有冷卻劑，所述控溫箱的側(cè)壁開設(shè)有冷卻劑輸入口和冷卻劑輸出口，所述控溫箱具有導(dǎo)熱頂板；

待測IGBT模塊，安裝于所述導(dǎo)熱頂板上；

紅外溫度測試儀，架設(shè)于所述導(dǎo)熱頂板的上方，所述紅外溫度測試儀對準(zhǔn)所述待測IGBT模塊；

恒功率電源，連接于所述待測IGBT模塊；以及

控制器，連接于所述待測IGBT模塊和所述紅外溫度測試儀。

進(jìn)一步的，所述控溫箱包括：

箱體，所述箱體內(nèi)填充有所述冷卻劑，所述箱體具有底板和沿所述底板的外沿設(shè)置一圈的側(cè)板，所述側(cè)板開設(shè)有所述冷卻劑輸入口和所述冷卻劑輸出口，所述導(dǎo)熱頂板遮蔽于所述側(cè)板的上端口；以及

支承架，包括立桿和橫桿，所述立桿連接于所述側(cè)板的外壁，所述橫桿安裝于所述立桿，所述紅外溫度測試儀安裝于所述橫桿。

進(jìn)一步的，所述支承架還包括滑塊和用于鎖固所述立桿的緊固件，所述滑塊形成有豎向貫孔，所述豎向貫孔活動套設(shè)于所述立桿，所述橫桿連接于所述滑塊的外部，所述緊固件安裝于所述滑塊上。

進(jìn)一步的，所述導(dǎo)熱頂板朝向所述控溫箱的內(nèi)側(cè)凹陷形成有容置槽，所述待測IGBT模塊嵌設(shè)于所述容置槽中。

進(jìn)一步的，還包括用于調(diào)控所述冷卻劑的溫度的補(bǔ)償箱，所述補(bǔ)償箱分別連接有輸出管和輸入管，所述輸出管連接于所述冷卻劑輸入口，所述輸入管連接于所述冷卻劑輸出口。

進(jìn)一步的，所述補(bǔ)償箱中設(shè)有電動加熱器、電動制冷器和第一溫度傳感器，所述電動加熱器、所述電動制冷器和所述第一溫度傳感器分別連接于所述控制器。

進(jìn)一步的，所述控溫箱內(nèi)設(shè)有第二溫度傳感器。