[實用新型]一種關于電子槍與坩堝和工件架的新結構設計的鍍膜裝置有效
| 申請號： | 202020297660.1 | 申請日： | 2020-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN211814629U | 公開（公告）日： | 2020-10-30 |
| 發明（設計）人： | 郭錦龍;王殿儒;程云立;馬華;付久龍;武金魁 | 申請（專利權）人： | 長鈦工程技術研究院（北京）有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/30 | 分類號： | C23C14/30;C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京知匯林知識產權代理事務所(普通合伙) 11794 | 代理人： | 楊華 |
| 地址： | 100040 北京市石景山*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 關于 電子槍 坩堝 工件 結構設計 鍍膜 裝置 | ||
1.一種關于電子槍與坩堝和工件架的新結構設計的鍍膜裝置，包括電子槍(1)、坩堝(2)、工件架(4)以及鍍膜設備筒體(6)，其特征在于：所述電子槍(1)下端設有鍍膜設備筒體(6)，所述鍍膜設備筒體(6)由外筒體(9)和內筒體(10)組成，所述外筒體(9)和內筒體(10)之間設有冷卻水(11)，所述電子槍(1)和鍍膜設備筒體(6)連接處設有接連法蘭(8)，所述電子槍(1)下端中間處設有電子束(5)，所述鍍膜設備筒體(6)內部下端設有坩堝支架(7)，所述坩堝支架(7)上端設有坩堝(2)，所述鍍膜設備筒體(6)內部靠近坩堝(2)兩側設有工件架(4)，所述工件架(4)上設有工件(3)。
2.根據權利要求1所述的一種關于電子槍與坩堝和工件架的新結構設計的鍍膜裝置，其特征在于：所述電子槍(1)與坩堝(2)垂直布置，所述電子槍(1)與坩堝(2)之間的距離大于工件(3)與坩堝(2)之間的距離。
3.根據權利要求1所述的一種關于電子槍與坩堝和工件架的新結構設計的鍍膜裝置，其特征在于：所述電子槍(1)與坩堝(2)的數量均可大于等于一，且每一個所述電子槍(1)對應一個坩堝(2)。
4.根據權利要求1所述的一種關于電子槍與坩堝和工件架的新結構設計的鍍膜裝置，其特征在于：所述電子槍(1)通過接連法蘭(8)螺栓連接在鍍膜設備筒體(6)上。
5.根據權利要求1所述的一種關于電子槍與坩堝和工件架的新結構設計的鍍膜裝置，其特征在于：所述坩堝(2)通過螺栓連接在坩堝支架(7)上。
6.根據權利要求1所述的一種關于電子槍與坩堝和工件架的新結構設計的鍍膜裝置，其特征在于：所述工件架(4)設有兩組，且兩個所述工件架(4)之間設有電子束(5)的掃描通道。
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