[實用新型]一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐

有效

• 申請號: 202020297577.4
• 申請日: 2020-03-12
• 公開（公告）號: CN212270279U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 于會永;馮佳峰;趙中陽;趙春鋒;張軍軍;雷仁貴;肖亞東;袁韶陽;吳鳳祥
• 申請（專利權）人: 大慶溢泰半導體材料有限公司
• 主分類號: C30B29/40
• 分類號: C30B29/40;C30B35/00
• 代理公司: 黑龍江省百盾知識產權代理事務所(普通合伙) 23218
• 代理人: 白海軍

本實用新型公開了一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，具體為磷化銦領域，包括裝置底座，所述裝置底座的底部固定安裝有裝置滾輪，所述裝置底座的頂部固定安裝有電源箱，所述裝置底座的頂部固定安裝有支撐座，所述支撐座的頂部固定安裝有固定座，所述活動桿的內部固定安裝有升降控制裝置，所述坩堝的表面活動安裝有閥門。本實用新型通過設置可移動底座減震裝置，使得整體裝置在使用的時候也可以通過該裝置進行移動，使得其的使用環境以及場地不再受到限制，而且全部位都可拆卸，在一定程度上節省了人力，既避免了原裝置不便于移動的問題，又解決了該裝置在使用的過程中震動過大影響整個裝置的問題。

技術領域

本實用新型涉及磷化銦技術領域，更具體地說，本實用新型為一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐。

背景技術

磷化銦是一種化學物質，是瀝青光澤的深灰色晶體，2017年10月27日，世界衛生組織國際癌癥研究機構公布的致癌物清單初步整理參考，磷化銦在 2A類致癌物清單中。

但是此物品可以使通信衛星在太空具有以極高速率傳輸數據的能力，磷化銦半導體材料具有電子極限漂移速度高、耐輻射性能好、導熱好的優點，與砷化鎵半導體材料相比，它具有擊穿電場、熱導率、電子平均速度均高的特點，磷化銦半導體材料具有寬禁帶結構，并且電子在通過InP材料時速度快，這意味著用這種材料制作的器件能夠放大更高頻率或更短波長的信號，因此利用磷化銦芯片制造的衛星信號接收機和放大器可以工作在100GHz以上的極高頻率，并且有很寬的帶寬，受外界影響較小，穩定性很高，因此，磷化銦是一種比砷化鎵更先進的半導體材料，有可能推動衛星通信業向更高頻段發展。

但是在制備磷化銦單晶的時候，目前市場上的裝置在制備的時候常常會出現各種各樣的原因，比如說該裝置在制備的過程當中，高壓爐會發生大量的噪音，且無法觀測其內部的氣壓，使得制備的時候其成品都不是很能夠讓人滿意，而該裝置進行移動的時候較為困難，使用起來極其不方便。

因此亟需提供一種可觀測并且可以控制內部氣壓，還便于移動的用于制備磷化銦單晶的高壓爐。

實用新型內容

為了克服現有技術的上述缺陷，本實用新型的實施例提供一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，通過設置觀測調整裝置，使得裝置整體在運行的時候，其安裝的碼表能夠完美的觀測到內部的氣壓，而所設置的閥門可以通過觀測出的結果對內部的氣壓經行調整，既避免了在使用的時候無法觀測其內部氣壓的問題，又解決了該裝置在使用的時候無法調整內部氣壓的問題，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，包括裝置底座，所述裝置底座的底部固定安裝有裝置滾輪，所述裝置底座的頂部固定安裝有電源箱，所述裝置底座的頂部固定安裝有支撐座，所述支撐座的頂部固定安裝有固定座，所述固定座的頂部活動安裝有活動桿，所述活動桿的內部固定安裝有升降控制裝置，所述活動桿的表面固定安裝有固定裝置，所述裝置底座的頂部固定安裝有坩堝底座，所述坩堝底座的頂部固定安裝有坩堝，所述坩堝的頂部固定安裝有鍋蓋，所述坩堝的表面固定安裝有壓力表，所述坩堝的表面活動安裝有閥門。

在一個優選地實施方式中，所述支撐座的內部固定安裝有氣壓泵，所述固定座的底部固定安裝有氣壓泵，所述活動桿的底部活動安裝有氣壓泵，所述支撐座的內部固定安裝有電線。

在一個優選地實施方式中，所述電源箱的表面活動安裝有開關，所述電源箱的內部固定安裝有電阻，所述電源箱的內部固定安裝有電機。

在一個優選地實施方式中，所述裝置底座的內部固定安裝有緩沖裝置，所述裝置底座的內部固定安裝有彈簧，所述彈簧的數量有八個，且八個彈簧均勻的安裝在裝置底座的內部。

在一個優選地實施方式中，所述固定座的內部活動安裝有活動桿，所述支撐座的頂部活動安裝有活動桿，所述升降控制裝置的數量有兩個，且均勻的安裝在活動桿的內部。