[實用新型]一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐

有效

• 申請號: 202020297577.4
• 申請日: 2020-03-12
• 公開（公告）號: CN212270279U
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 于會永;馮佳峰;趙中陽;趙春鋒;張軍軍;雷仁貴;肖亞東;袁韶陽;吳鳳祥
• 申請（專利權）人: 大慶溢泰半導體材料有限公司
• 主分類號: C30B29/40
• 分類號: C30B29/40;C30B35/00
• 代理公司: 黑龍江省百盾知識產權代理事務所(普通合伙) 23218
• 代理人: 白海軍

1.一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，包括裝置底座（1），其特征在于：所述裝置底座（1）的底部固定安裝有裝置滾輪（2），所述裝置底座（1）的頂部固定安裝有電源箱（3），所述裝置底座（1）的頂部固定安裝有支撐座（4），所述支撐座（4）的頂部固定安裝有固定座（5），所述固定座（5）的頂部活動安裝有活動桿（6），所述活動桿（6）的內部固定安裝有升降控制裝置（7），所述活動桿（6）的表面固定安裝有固定裝置（8），所述裝置底座（1）的頂部固定安裝有坩堝底座（9），所述坩堝底座（9）的頂部固定安裝有坩堝（10），所述坩堝（10）的頂部固定安裝有鍋蓋（11），所述坩堝（10）的表面固定安裝有壓力表（12），所述坩堝（10）的表面活動安裝有閥門（13）。

2.根據權利要求1所述的一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，其特征在于：所述支撐座（4）的內部固定安裝有氣壓泵（15），所述固定座（5）的底部固定安裝有氣壓泵（15），所述活動桿（6）的底部活動安裝有氣壓泵（15），所述支撐座（4）的內部固定安裝有電線（16）。

3.根據權利要求1所述的一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，其特征在于：所述電源箱（3）的表面活動安裝有開關（17），所述電源箱（3）的內部固定安裝有電阻（18），所述電源箱（3）的內部固定安裝有電機（19）。

4.根據權利要求1所述的一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，其特征在于：所述裝置底座（1）的內部固定安裝有緩沖裝置（20），所述裝置底座（1）的內部固定安裝有彈簧（14），所述彈簧（14）的數量有八個，且八個彈簧（14）均勻的安裝在裝置底座（1）的內部。

5.根據權利要求1所述的一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，其特征在于：所述固定座（5）的內部活動安裝有活動桿（6），所述支撐座（4）的頂部活動安裝有活動桿（6），所述升降控制裝置（7）的數量有兩個，且均勻的安裝在活動桿（6）的內部。

6.根據權利要求1所述的一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，其特征在于：所述裝置滾輪（2）的數量有兩個，且均勻的安裝在裝置底座（1）的底部，所述支撐座（4）的數量有兩個，且均勻的安裝在裝置底座（1）的頂部。

7.根據權利要求3所述的一種用于制備磷化銦單晶的高壓爐，其特征在于：所述電機（19）的底部與電阻（18）的底部電路連接，所述電阻（18）的頂部與開關（17）的底部電性連接。