[實(shí)用新型]一種用于硬脆性薄片的加壓貼片裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020295084.7
• 申請日: 2020-03-11
• 公開（公告）號: CN211858598U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱亮;盧嘉彬;周鋒;聶魁宏;高紅剛;劉小琴;趙志鵬;曹建偉;傅林堅
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;B32B37/10
• 代理公司: 杭州中成專利事務(wù)所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于硬脆性薄片的加壓貼片裝置，其特征在于，包括基臺組件、旋轉(zhuǎn)電缸、升降支架、線性模組、翻轉(zhuǎn)氣缸和貼片頭組件；

所述基臺組件包括基臺底板，基臺底板通過安裝在兩側(cè)的支撐柱與硬脆性材料貼片設(shè)備的底架相連；旋轉(zhuǎn)電缸安裝在基臺底板上；所述線性模組與旋轉(zhuǎn)電缸通過所述升降支架相連接；所述翻轉(zhuǎn)氣缸安裝在線性模組的前端；所述貼片手臂與翻轉(zhuǎn)氣缸相連接；

所述貼片頭組件包括吸盤座，壓環(huán)將氣囊貼合在吸盤座的中心位置；吸盤座的上表面開有多個通氣孔，作為真空吸附硬脆性薄片的氣路通道，吸盤座中心開有通孔，通孔連接氣囊用于作為鼓氣時的氣路通道；導(dǎo)向軸設(shè)有三組，分別安裝在吸盤座的底部，并與貼片手臂配合套在一起；彈簧套在導(dǎo)向軸上，并安裝在吸盤座與貼片手臂之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硬脆性薄片的加壓貼片裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)電缸采用高精度旋轉(zhuǎn)電缸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硬脆性薄片的加壓貼片裝置，其特征在于，所述線性模組通過伺服電機(jī)控制。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硬脆性薄片的加壓貼片裝置，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)氣缸兩側(cè)裝有液壓緩沖器，既能起到緩沖作用，又能調(diào)整翻轉(zhuǎn)后的相對位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硬脆性薄片的加壓貼片裝置，其特征在于，所述貼片頭組件中的氣囊采用硅橡膠氣囊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于硬脆性薄片的加壓貼片裝置，其特征在于，基臺底板上設(shè)有兩組用于限位的光電開關(guān)。