[實用新型]一種半導體晶棒拉晶夾具

有效

• 申請號: 202020290104.1
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN212103058U
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 溫漢軍
• 申請（專利權）人: 常山縣萬谷電子科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 宮建華

本實用新型提供一種半導體晶棒拉晶夾具，包括底座，所述底座的頂部一體加工有拉晶爐體，所述拉晶爐體正面的左側從上至下依次設置有按鈕區域，所述拉晶爐體內腔的背面栓接有隔熱板，所述拉晶爐體正面的兩側均通過合頁鉸接有雙開門，所述雙開門相向一側的中心處栓接有拉柄，所述拉晶爐體內腔的底部橫向栓接有放置板，所述拉晶爐體內腔的頂部從上至下依次橫向栓接有第一固定條和第二固定條。本實用新型通過固定夾座、固定塊、固定座、限位座、鉸接座、握柄、快速夾頭和調節螺栓的結構配合，可對石英管進行夾持固定，防止石英管在拉晶過程中，出現晃動或位移，進一步提高石英管的拉晶質量，減少石英管的材料損耗。

技術領域

本實用新型涉及半導體材料領域，尤其涉及一種半導體晶棒拉晶夾具。

背景技術

半導體，指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，石英管是用二氧化硅制造的特種工業技術玻璃，是一種非常優良的基礎材料，石英玻璃具有一系列優良的物理、化學性能，用于電火桶，電烤火爐，電取暖器里面，起發熱作用。

半導體材料有很多，比如石英管，然而使用者再對石英管進行拉晶時，需要用到拉晶爐，然而現有的拉晶爐再對石英管拉晶過程中，不可對石英管進行緊固夾持，石英管在拉晶過程中，易出現晃動或偏移，大大降低石英管的拉晶質量，提高石英管的拉晶次品率，提高石英管的拉晶成本。

因此，有必要提供一種半導體晶棒拉晶夾具解決上述技術問題。

實用新型內容

本實用新型提供一種半導體晶棒拉晶夾具，解決了現有拉晶爐再對石英管拉晶過程中，不可對石英管進行緊固夾持的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供的一種半導體晶棒拉晶夾具，包括底座，所述底座的頂部一體加工有拉晶爐體，所述拉晶爐體正面的左側從上至下依次設置有按鈕區域，所述拉晶爐體內腔的背面栓接有隔熱板，所述拉晶爐體正面的兩側均通過合頁鉸接有雙開門，所述雙開門相向一側的中心處栓接有拉柄，所述拉晶爐體內腔的底部橫向栓接有放置板，所述拉晶爐體內腔的頂部從上至下依次橫向栓接有第一固定條和第二固定條，所述放置板的頂部從左至右依次豎向設置有石英管，所述放置板、第一固定條和第二固定條相向的一側設置有夾持機構。

優選的，所述夾持機構包括固定夾座、固定塊、固定座、限位座、鉸接座、握柄、快速夾頭和調節螺栓，所述放置板的頂部從左至右依次栓接有與石英管卡接配合的固定夾座，所述第二固定條的正面從左至右依次栓接有與石英管配合使用的固定塊，所述第一固定條的正面從左至右依次栓接有固定座，所述固定座正面頂部和底部的中心處均栓接有與石英管卡接配合的限位座，所述固定座的左側鉸接有鉸接座，所述鉸接座正面的左側橫向栓接有握柄，所述鉸接座的右側鉸接有與石英管卡接配合的快速夾頭，所述快速夾頭正面的兩側均螺紋連接有調節螺栓。

優選的，所述拉晶爐體頂部正面的左側豎向栓接有警示燈，所述警示燈的警示顏色設置為“紅”、“黃”和“綠”三種，且分別代表“故障”、“警示”和“正常”。

優選的，所述固定塊和限位座的凹槽位置均通過強力密封膠粘接有硅膠皮，所述硅膠皮的厚度至少為十毫米。

優選的，所述拉晶爐體兩側的四周均連通有散熱扇，所述散熱扇的外側連通有濾塵網，所述濾塵網的網眼面積小于五平方毫米。

優選的，所述拉晶爐體頂部的兩側從左至右均開設有換氣孔，所述換氣孔設置為橫向陣列狀結構，所述換氣孔的孔徑小于兩厘米。

優選的，所述底座底部的四周均豎向栓接有支撐腳，所述支撐腳的數量為四個，所述底座底部的四周均栓接有萬向輪，所述萬向輪的數量為六個。

優選的，所述雙開門正面的兩側均嵌設有觀察窗，所述觀察窗采用雙層鋼化玻璃。

與相關技術相比較，本實用新型提供的一種半導體晶棒拉晶夾具具有如下有益效果：

本實用新型提供一種半導體晶棒拉晶夾具，