[實用新型]一種半導體晶棒拉晶夾具

有效

• 申請號: 202020290104.1
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN212103058U
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 溫漢軍
• 申請（專利權）人: 常山縣萬谷電子科技有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 宮建華

1.一種半導體晶棒拉晶夾具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的頂部一體加工有拉晶爐體(2)，所述拉晶爐體(2)正面的左側從上至下依次設置有按鈕區域，所述拉晶爐體(2)內腔的背面栓接有隔熱板(18)，所述拉晶爐體(2)正面的兩側均通過合頁鉸接有雙開門(3)，所述雙開門(3)相向一側的中心處栓接有拉柄(4)，所述拉晶爐體(2)內腔的底部橫向栓接有放置板(5)，所述拉晶爐體(2)內腔的頂部從上至下依次橫向栓接有第一固定條(6)和第二固定條(7)，所述放置板(5)的頂部從左至右依次豎向設置有石英管(8)，所述放置板(5)、第一固定條(6)和第二固定條(7)相向的一側設置有夾持機構(9)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體晶棒拉晶夾具，其特征在于，所述夾持機構(9)包括固定夾座(91)、固定塊(92)、固定座(93)、限位座(94)、鉸接座(95)、握柄(96)、快速夾頭(97)和調節螺栓(98)，所述放置板(5)的頂部從左至右依次栓接有與石英管(8)卡接配合的固定夾座(91)，所述第二固定條(7)的正面從左至右依次栓接有與石英管(8)配合使用的固定塊(92)，所述第一固定條(6)的正面從左至右依次栓接有固定座(93)，所述固定座(93)正面頂部和底部的中心處均栓接有與石英管(8)卡接配合的限位座(94)，所述固定座(93)的左側鉸接有鉸接座(95)，所述鉸接座(95)正面的左側橫向栓接有握柄(96)，所述鉸接座(95)的右側鉸接有與石英管(8)卡接配合的快速夾頭(97)，所述快速夾頭(97)正面的兩側均螺紋連接有調節螺栓(98)。

3.根據權利要求1所述的一種半導體晶棒拉晶夾具，其特征在于，所述拉晶爐體(2)頂部正面的左側豎向栓接有警示燈(10)，所述警示燈(10)的警示顏色設置為“紅”、“黃”和“綠”三種，且分別代表“故障”、“警示”和“正常”。

4.根據權利要求2所述的一種半導體晶棒拉晶夾具，其特征在于，所述固定塊(92)和限位座(94)的凹槽位置均通過強力密封膠粘接有硅膠皮(11)，所述硅膠皮(11)的厚度至少為十毫米。

5.根據權利要求1所述的一種半導體晶棒拉晶夾具，其特征在于，所述拉晶爐體(2)兩側的四周均連通有散熱扇(12)，所述散熱扇(12)的外側連通有濾塵網(13)，所述濾塵網(13)的網眼面積小于五平方毫米。

6.根據權利要求1所述的一種半導體晶棒拉晶夾具，其特征在于，所述拉晶爐體(2)頂部的兩側從左至右均開設有換氣孔(14)，所述換氣孔(14)設置為橫向陣列狀結構，所述換氣孔(14)的孔徑小于兩厘米。

7.根據權利要求1所述的一種半導體晶棒拉晶夾具，其特征在于，所述底座(1)底部的四周均豎向栓接有支撐腳(15)，所述支撐腳(15)的數量為四個，所述底座(1)底部的四周均栓接有萬向輪(16)，所述萬向輪(16)的數量為六個。

8.根據權利要求1所述的一種半導體晶棒拉晶夾具，其特征在于，所述雙開門(3)正面的兩側均嵌設有觀察窗(17)，所述觀察窗(17)采用雙層鋼化玻璃。