[實用新型]硅片輸運裝置

有效

• 申請號: 202020286883.8
• 申請日: 2020-03-10
• 公開（公告）號: CN211529927U
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 夏世偉;陳炯;洪俊華;杰夫·貝克;張長勇;王占柱
• 申請（專利權）人: 上海臨港凱世通半導體有限公司;上海凱世通半導體股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 薛琦;張冉

1.一種硅片輸運裝置，其特征在于，其包括兩個預抽真空裝置和真空輸運裝置，其中，

每個預抽真空裝置用于在大氣狀態和真空狀態下切換，每個預抽真空裝置用于承載至少一片硅片；

所述真空輸運裝置用于在真空狀態下在每個預抽真空裝置和用于處理硅片的工藝處理裝置之間傳輸硅片，所述真空輸運裝置包括：真空輸運腔室、位于所述真空輸運腔室中的兩個搬運機器人和用于承載硅片的中轉臺；

所述兩個搬運機器人中，每個搬運機器人有兩個可以獨立動作的機械手，每個搬運機器人用于對同一個工位執行硅片交換的操作；

當所述兩個搬運機器人中的一個搬運機器人用于在預抽真空裝置和所述中轉臺之間傳輸硅片的時候，所述兩個搬運機器人中的另一個搬運機器人用于在所述中轉臺和所述工藝處理裝置之間傳輸硅片。

2.如權利要求1所述的硅片輸運裝置，其特征在于，每個搬運機器人包括兩個用于持有硅片的機械手，所述兩個機械手在垂直于硅片傳輸平面的方向上間隔布置，每個機械手在硅片傳輸平面中是可旋轉的。

3.如權利要求2所述的硅片輸運裝置，其特征在于，每個搬運機器人的兩個機械手在硅片傳輸平面中可以一起旋轉，或者每個搬運機器人的兩個機械手在硅片傳輸平面中可單獨旋轉。

4.如權利要求2所述的硅片輸運裝置，其特征在于，每個機械手在垂直于硅片傳輸平面的方向上是可升降的。

5.如權利要求4所述的硅片輸運裝置，其特征在于，每個搬運機器人的兩個機械手在垂直于硅片傳輸平面的方向上是可一起升降的，或者每個搬運機器人的兩個機械手在垂直于硅片傳輸平面的方向上各自分別升降。

6.如權利要求2所述的硅片輸運裝置，其特征在于，每個機械手在硅片傳輸平面中可線性伸縮。

7.如權利要求6所述的硅片輸運裝置，其特征在于，在從所述中轉臺和/或所述工藝處理裝置中取走和/或放入的一個操作循環中，同一個搬運機器人的兩個機械手中的一個機械手持有硅片，同一個搬運機器人的兩個機械手中的另一個機械手不持有硅片。

8.如權利要求1-7中任意一項所述的硅片輸運裝置，其特征在于，兩個預抽真空裝置中的一個預抽真空裝置中的硅片被逐一傳輸至所述工藝處理裝置中處理時，兩個預抽真空裝置中的另一個預抽真空裝置處于抽真空或者破真空或者在大氣環境下移除或裝入硅片。

9.如權利要求1-7中任意一項所述的硅片輸運裝置，其特征在于，所述中轉臺還用于硅片中心的定位和/或硅片方向的對準。

10.如權利要求1-7中任意一項所述的硅片輸運裝置，其特征在于，每個預抽真空裝置中設置有用于承載至少一片硅片的晶片盒。