[實用新型]一種旋轉靶超聲涂銦設備

有效

• 申請號: 202020277233.7
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN212051626U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發明（設計）人: 陳明恒
• 申請（專利權）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K3/08
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 林曉宏

本實用新型公開了一種旋轉靶超聲涂銦設備，超聲涂銦設備包括有高溫箱以及分別設置在高溫箱相對兩側的超聲發生裝置。高溫箱內設置有用于帶動旋轉靶繞其軸線自轉的支承輥裝置，支承輥裝置包括有兩個對稱設置的支承輥以及轉動驅動裝置，轉動驅動裝置傳動連接至少一支承輥；高溫箱相對的兩側分別設置有一開口，兩個超聲發生裝置分別活動設置有一超聲涂桿，兩個超聲涂桿分別穿插于相應的開口，并且超聲涂桿的端部活動延伸至旋轉靶的內腔；兩個超聲涂桿分別與支承輥裝置協同進行涂銦配合。本超聲涂銦設備通過超聲涂桿和支承輥帶動旋轉靶作轉動涂銦，涂銦均勻，提高成品焊合率。

技術領域

本實用新型涉及靶材加工設備技術領域，尤其是涉及一種旋轉靶超聲涂銦設備。

背景技術

旋轉靶才的綁定工藝是指，在靶材與背管之間澆筑熔融的金屬焊料，使靶材與背管之間實現焊接固定。因為ITO是一種N型氧化物半導體，作為常用焊料的氧化銦的入侵率底，常規的澆筑綁定方法容易使背管變形，良品率底。所以，在靶材與背管進行澆筑綁定前，需要對ITO的綁定面進行金屬化預處理。在現有技術中，常常通過人工方法，對ITO內側的綁定面進行金屬化處理，這種處理辦法存在著，銦層涂抹不均勻，金屬化程度不一，且生產效率低，操作難度大。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型的目的是提供一種旋轉靶超聲涂銦設備，對旋轉靶才內側的綁定面進行半自動超聲涂銦，使銦層內側的綁定面能夠進行均勻穩定的金屬化預處理，提高銦層性能的均勻性以及綁定層的焊合率，成品率高。

為了實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案是：一種旋轉靶超聲涂銦設備，超聲涂銦設備包括有高溫箱以及分別設置在高溫箱相對兩側的超聲發生裝置。高溫箱內設置有用于帶動旋轉靶繞其軸線自轉的支承輥裝置，支承輥裝置包括有兩個對稱設置的支承輥以及轉動驅動裝置，轉動驅動裝置傳動連接至少一支承輥；高溫箱相對的兩側分別設置有一開口，兩個超聲發生裝置分別活動設置有一超聲涂桿，兩個超聲涂桿分別穿插于相應的開口，并且超聲涂桿的端部活動延伸至旋轉靶的內腔；兩個超聲涂桿分別與支承輥裝置協同進行涂銦配合。

在進一步的技術方案中，高溫箱設置有溫度控制電路、發熱裝置和溫度監測裝置，發熱裝置和溫度監測裝置分別電連接于溫度控制電路。

在進一步的技術方案中，發熱裝置設置有至少一發熱部，發熱部固定于高溫箱的內腔的頂面和/或底面；溫度監測裝置包括有多個設置于高溫箱內腔的溫度監測元件，各溫度監測元件分別沿支承輥的軸線方向間隔分布設置。

在進一步的技術方案中，支承輥的輥面沿其軸線方向間隔設置有多個由耐高溫材料所制的環枕，在同一支承輥的各個環枕的厚度相同。

在進一步的技術方案中，在高溫箱相對的兩側分別設置有進出調節機構，進出調節機構包括有底座、進出調節導軌、滑座和進出驅動電機。底座固定于高溫箱相應的一側，底座安裝有一進出調節絲桿；進出調節導軌固定于底座，進出調節導軌沿支承輥的軸線方向設置；滑座安裝于進出調節導軌，超聲發生裝置安裝于滑座，滑座設置有一進出調節絲桿副，進出調節絲桿副與進出調節絲桿相連接，超聲發生裝置安裝于滑座；進出驅動電機固定于底座的外側端部，進出驅動電機具有一輸出軸，輸出軸通過一聯軸器連接進出調節絲桿。

在進一步的技術方案中，滑座設置有橫向調節機構，橫向調節機構包括一橫向調節座，橫向調節座設置有一光桿和橫向調節導軌，光桿和橫向調節導軌相平行，且垂直進出調節導軌，超聲發生裝置分別滑動連接光桿和橫向調節導軌。

在進一步的技術方案中，橫向調節座設置有垂直導軌座，垂直導軌座設有垂直導軌和擺動驅動結構，垂直導軌安裝有一擺動調節底座，擺動驅動結構連接擺動調節底座。超聲發生裝置包括有一超聲發生單元和超聲涂桿，超聲涂桿連接超聲發生單元的一端，超聲發生單元的另一端伸縮設置有一伸縮連桿，伸縮連桿與超聲涂桿同軸設置，伸縮連桿的端部轉動連接光桿；超聲發生單元的固接有一轉動連桿，轉動連桿與伸縮連桿相垂直，轉動連桿轉動連接擺動調節底座。