[實(shí)用新型]一種旋轉(zhuǎn)靶超聲涂銦設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020277233.7
• 申請日: 2020-03-09
• 公開（公告）號: CN212051626U
• 公開（公告）日: 2020-12-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳明恒
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B23K3/08
• 代理公司: 北京天盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11421
• 代理人: 林曉宏

1.一種旋轉(zhuǎn)靶超聲涂銦設(shè)備，其特征在于：超聲涂銦設(shè)備包括有高溫箱(10)以及分別設(shè)置在高溫箱(10)相對兩側(cè)的超聲發(fā)生裝置，

高溫箱(10)內(nèi)設(shè)置有用于帶動旋轉(zhuǎn)靶繞其軸線自轉(zhuǎn)的支承輥裝置，支承輥裝置包括有兩個對稱設(shè)置的支承輥以及轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置傳動連接至少一支承輥；

高溫箱(10)相對的兩側(cè)分別設(shè)置有一開口(104)，兩個超聲發(fā)生裝置分別活動設(shè)置有一超聲涂桿(1116)，兩個超聲涂桿(1116)分別穿插于相應(yīng)的開口(104)，并且超聲涂桿(1116)的端部活動延伸至旋轉(zhuǎn)靶的內(nèi)腔；

兩個超聲涂桿(1116)分別與支承輥裝置協(xié)同進(jìn)行涂銦配合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)靶超聲涂銦設(shè)備，其特征在于：所述高溫箱(10)設(shè)置有溫度控制電路、發(fā)熱裝置和溫度監(jiān)測裝置，發(fā)熱裝置和溫度監(jiān)測裝置分別電連接于溫度控制電路。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種旋轉(zhuǎn)靶超聲涂銦設(shè)備，其特征在于：所述發(fā)熱裝置設(shè)置有至少一發(fā)熱部(103)，發(fā)熱部(103)固定于所述高溫箱(10)的內(nèi)腔的頂面和/或底面；

溫度監(jiān)測裝置包括有多個設(shè)置于高溫箱(10)內(nèi)腔的溫度監(jiān)測元件，各溫度監(jiān)測元件分別沿所述支承輥的軸線方向間隔分布設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種旋轉(zhuǎn)靶超聲涂銦設(shè)備，其特征在于：所述支承輥的輥面沿其軸線方向間隔設(shè)置有多個由耐高溫材料所制的環(huán)枕(1011)，在同一支承輥的各個環(huán)枕(1011)的厚度相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)靶超聲涂銦設(shè)備，其特征在于：在所述高溫箱(10)相對的兩側(cè)分別設(shè)置有進(jìn)出調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(11)，進(jìn)出調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)(11)包括有底座(1101)、進(jìn)出調(diào)節(jié)導(dǎo)軌(1102)、滑座(1104)和進(jìn)出驅(qū)動電機(jī)(1105)，

底座(1101)固定于高溫箱(10)相應(yīng)的一側(cè)，底座(1101)安裝有一進(jìn)出調(diào)節(jié)絲桿(1103)；

進(jìn)出調(diào)節(jié)導(dǎo)軌(1102)固定于底座(1101)，進(jìn)出調(diào)節(jié)導(dǎo)軌(1102)沿所述支承輥的軸線方向設(shè)置；

滑座(1104)安裝于進(jìn)出調(diào)節(jié)導(dǎo)軌(1102)，所述超聲發(fā)生裝置安裝于滑座(1104)，滑座(1104)設(shè)置有一進(jìn)出調(diào)節(jié)絲桿副，進(jìn)出調(diào)節(jié)絲桿副與進(jìn)出調(diào)節(jié)絲桿(1103)相連接；

進(jìn)出驅(qū)動電機(jī)(1105)固定于底座(1101)的外側(cè)端部，進(jìn)出驅(qū)動電機(jī)(1105)具有一輸出軸，輸出軸通過一聯(lián)軸器連接進(jìn)出調(diào)節(jié)絲桿(1103)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種旋轉(zhuǎn)靶超聲涂銦設(shè)備，其特征在于：所述滑座(1104)設(shè)置有橫向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，橫向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括一橫向調(diào)節(jié)座(1106)，橫向調(diào)節(jié)座(1106)設(shè)置有一光桿(1108)和橫向調(diào)節(jié)導(dǎo)軌(1107)，光桿(1108)和橫向調(diào)節(jié)導(dǎo)軌(1107)相平行，且垂直所述進(jìn)出調(diào)節(jié)導(dǎo)軌(1102)，所述超聲發(fā)生裝置分別滑動連接光桿(1108)和橫向調(diào)節(jié)導(dǎo)軌(1107)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種旋轉(zhuǎn)靶超聲涂銦設(shè)備，其特征在于：所述橫向調(diào)節(jié)座(1106)設(shè)置有垂直導(dǎo)軌座(1109)，垂直導(dǎo)軌座(1109)設(shè)有垂直導(dǎo)軌(1110)和擺動驅(qū)動結(jié)構(gòu)，垂直導(dǎo)軌(1110)安裝有一擺動調(diào)節(jié)底座(1112)，擺動驅(qū)動結(jié)構(gòu)連接擺動調(diào)節(jié)底座(1112)，

所述超聲發(fā)生裝置包括有一超聲發(fā)生單元(1115)和所述超聲涂桿(1116)，超聲涂桿(1116)連接超聲發(fā)生單元(1115)的一端，超聲發(fā)生單元(1115)的另一端伸縮設(shè)置有一伸縮連桿(1119)，伸縮連桿(1119)與超聲涂桿(1116)同軸設(shè)置，伸縮連桿(1119)的端部轉(zhuǎn)動連接所述光桿(1108)；超聲發(fā)生單元(1115)的固接有一轉(zhuǎn)動連桿(1118)，轉(zhuǎn)動連桿(1118)與伸縮連桿(1119)相垂直，轉(zhuǎn)動連桿(1118)轉(zhuǎn)動連接擺動調(diào)節(jié)底座(1112)。