[實(shí)用新型]一種多晶硅還原爐廢氣抽真空淋洗裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020268360.0
• 申請日: 2020-03-06
• 公開（公告）號: CN212142093U
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高志明;高承燕;鮑守珍;甘易武;王明強(qiáng);鄭連基
• 申請（專利權(quán)）人: 亞洲硅業(yè)（青海）股份有限公司;青海省亞硅硅材料工程技術(shù)有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/68
• 代理公司: 成都華風(fēng)專利事務(wù)所(普通合伙) 51223
• 代理人: 杜朗宇

本實(shí)用新型公開了一種多晶硅還原爐廢氣抽真空淋洗裝置,涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，包括還原爐、射流真空泵、水封槽和淋洗塔，且淋洗塔安裝在水封槽內(nèi)；所述還原爐上安裝有尾氣輸送管，且尾氣輸送管的出口端與淋洗塔的下端連接；所述射流真空泵安裝在尾氣輸送管上，且射流真空泵上還安裝有進(jìn)水管。本實(shí)用新型在對廢氣進(jìn)行淋洗過程中，不需要對還原爐內(nèi)進(jìn)行多次加壓，有效防止還原爐內(nèi)的硅棒或硅芯倒?fàn)t，使硅棒或硅芯的質(zhì)量得到保證；同時(shí)，能有效使進(jìn)入還原爐內(nèi)的氮?dú)饽芘c多晶硅在還原過程中產(chǎn)生的廢氣進(jìn)行充分置換，有效避免氮?dú)饫速M(fèi)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種多晶硅還原爐廢氣抽真空淋洗裝置。

背景技術(shù)

隨著太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，多晶硅的需求將持續(xù)增長。多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣大多屬于易燃易爆、有毒有害物質(zhì)，主要來源于精餾工序、還原工序、尾氣回收工序(CDI)、氫化工序和合成工序等。

目前，多晶硅生產(chǎn)企業(yè)基本上都采用堿液淋洗法對多晶硅廢氣進(jìn)行處理。但在還原爐運(yùn)行中，由于受限于還原爐結(jié)構(gòu)，進(jìn)入還原爐內(nèi)的氮?dú)庑鑿牡妆P處進(jìn)入，排出還原爐的氯硅烷需從底盤處排出，從而使進(jìn)入到還原爐內(nèi)的氮?dú)獠荒軐€原爐內(nèi)的氣體進(jìn)行完全置換，從而需多次向還原爐內(nèi)加入氮?dú)膺M(jìn)行加壓置換，最后再將置換產(chǎn)生的廢氣送入到淋洗塔進(jìn)行處理，整個(gè)過程不僅需花費(fèi)大量時(shí)間，且使氮?dú)獗淮罅坷速M(fèi)；同時(shí)，還原爐在多次加壓過程中容易導(dǎo)致爐內(nèi)硅棒或硅芯倒?fàn)t。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種多晶硅還原爐廢氣抽真空淋洗裝置，以解決上述問題。

為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的，采用的技術(shù)方案為：一種多晶硅還原爐廢氣抽真空淋洗裝置，包括還原爐、射流真空泵、水封槽和淋洗塔，且淋洗塔安裝在水封槽內(nèi)；所述還原爐上安裝有尾氣輸送管，且尾氣輸送管的出口端與淋洗塔的下端連接；所述射流真空泵安裝在尾氣輸送管上，且射流真空泵上還安裝有進(jìn)水管。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)水管的出口端還并聯(lián)有多個(gè)噴淋管，多個(gè)噴淋管的出口端均延伸至淋洗塔內(nèi)，且多個(gè)噴淋管的出口端沿淋洗塔的高度方向依次排布。

進(jìn)一步的，每個(gè)所述噴淋管的出口端均安裝有霧化噴頭。

進(jìn)一步的，還包括廢水循環(huán)槽，廢水循環(huán)槽與進(jìn)水管的出口端連接有傳輸管，且廢水循環(huán)槽上還連接有排空管；所述淋洗塔的頂部還安裝排放管，且排放管的出口端延伸至廢水循環(huán)槽的槽底。

進(jìn)一步的，所述廢水循環(huán)槽與水封槽之間還連接有循環(huán)管道。

進(jìn)一步的，所述水封槽上還連接有排液管，且排液管的出口端與進(jìn)水管的進(jìn)口端連接。

進(jìn)一步的，所述排液管上還安裝有循環(huán)泵，且排液管的出口端還并聯(lián)有廢水排除管。

進(jìn)一步的，所述廢水排除管上還安裝有第一開關(guān)閥。

進(jìn)一步的，所述排液管上還并聯(lián)有進(jìn)液管，且進(jìn)液管上還安裝有第二開關(guān)閥。

進(jìn)一步的，所述排液管的兩端均安裝有截止閥。

進(jìn)一步的，所述尾氣輸送管出口端的口徑小于進(jìn)水管的口徑。

本實(shí)用新型的有益效果是,

通過在尾氣輸送管道上安裝射流真空泵，并將射流真空泵與進(jìn)水管連接，射流真空泵通過機(jī)械、物理、化學(xué)和物化的原理，使還原爐內(nèi)保持真空狀態(tài)，使進(jìn)入還原爐內(nèi)的氮?dú)饽芘c多晶硅在還原過程中產(chǎn)生的廢氣進(jìn)行充分置換，有效避免氮?dú)饫速M(fèi)；同時(shí)，本實(shí)用新型在對廢氣進(jìn)行淋洗過程中，不需要對還原爐內(nèi)進(jìn)行多次加壓，有效防止還原爐內(nèi)的硅棒或硅芯倒?fàn)t，使硅棒或硅芯的質(zhì)量得到保證。

本實(shí)用新型通過采用循環(huán)管道和排液管的配合，使淋洗后未充分反應(yīng)的堿性液體能進(jìn)行重復(fù)利用，有效避免資源浪費(fèi)。

附圖說明