[實用新型]真空規(guī)的捕集裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020249264.1
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN211837044U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張心強;陳林
• 申請（專利權(quán)）人: 中科九微科技有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;B01D46/00;G01L21/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 徐律

本實用新型提供了一種真空規(guī)的捕集裝置，用于將真空規(guī)和待檢測空腔相連通，包括連接管以及用于收集沉積物的捕集組件，連接管的一端與真空規(guī)可拆卸連接，另一端與待檢測空腔可拆卸連接；捕集組件包括主動捕集器和被動捕集器，捕集組件與連接管可拆卸連接。本實用新型提供的真空規(guī)的捕集裝置，在真空規(guī)和待檢測空腔之間設(shè)置連接管和捕集組件，主動捕集器可以在氣體流動時即對帶電物質(zhì)的顆粒雜質(zhì)進行捕集和沉降，被動捕集器可以利用其物理原理對中性物的顆粒雜質(zhì)進行過濾，達到捕集顆粒雜質(zhì)及其他沉降污染物的效果，捕集組件可以拆卸，可以將捕集組件拆卸進行清洗，使用壽命長且能夠有效地減少了沉積物在真空規(guī)的膜片上的沉積。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及真空測量裝置的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空規(guī)的捕集裝置。

背景技術(shù)

為了準(zhǔn)確監(jiān)測和控制腔室內(nèi)的真空度，一般采用真空規(guī)進行測量，目前真空規(guī)最為常用的是電容式薄膜真空規(guī)，這種真空規(guī)的內(nèi)部設(shè)置有感受壓力的薄膜，其檢測原理是：利用薄膜兩邊壓力不同而使薄膜變形偏移，從而改變了薄膜與電極間之距離，進而使電容改變，最終可以求得壓力變化。電容真空規(guī)內(nèi)部的感壓薄膜對顆粒沉積比較敏感，如果薄膜上沉積顆粒較多就會導(dǎo)致薄膜的變形發(fā)生變化，從而導(dǎo)致測量結(jié)果不準(zhǔn)。

目前在沉積物較多的場合，一般的做法是定期對真空規(guī)進行重新調(diào)零，使得沉積物不會影響測量結(jié)果，在沉積物堆積過多無法通過調(diào)零修正之后，則將真空規(guī)淘汰。因此，沉積物不僅嚴重影響了測量的精度，也大大影響了真空規(guī)的使用壽命。

公開號為CN109411385A的中國專利申請，其公開一種真空規(guī)連接組件和半導(dǎo)體設(shè)備，真空規(guī)和反應(yīng)腔室之間通過收集件相連通，所述收集件能夠收集所述氣流中的顆粒雜質(zhì)，因此氣流中的顆粒雜質(zhì)會通過連接管進入到收集件內(nèi)，可以避免顆粒雜質(zhì)進入到真空規(guī)內(nèi)部，從而可以提高真空規(guī)測量反應(yīng)腔室內(nèi)的氣體壓力的準(zhǔn)確度，進而可以提高各工藝階段的產(chǎn)品制作良率。

上述申請中，雖然增加了收集件，從而延長氣體在收集件和連接管的停留時間，使得沉積物更多沉積在收集件中，但這種收集件不能更換，會改變氣體流態(tài)影響測量結(jié)果，對需要精確控制氣體壓力的工藝影響嚴重。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種真空規(guī)的捕集裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中沉積物的收集裝置會改變氣體流態(tài)影響測量結(jié)果的技術(shù)問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是：提供一種真空規(guī)的捕集裝置，用于將真空規(guī)和待檢測空腔相連通，包括：連接管以及用于收集沉積物的捕集組件，所述連接管的一端與所述真空規(guī)可拆卸連接，另一端與所述待檢測空腔可拆卸連接；所述捕集組件包括主動捕集器和被動捕集器，所述主動捕集器和所述被動捕集器均串聯(lián)于所述連接管上，且所述捕集組件與所述連接管可拆卸連接。

進一步地，所述主動捕集器包括四個電極柱和分別連接四個所述電極柱的射頻電源，四個所述電極柱平行設(shè)置并圍合形成四極場，且所述電極柱的長度方向與所述連接管的延伸方向一致。

進一步地，所述主動捕集器包括陰極筒體、間隔設(shè)于所述陰極筒體內(nèi)的陽極柵網(wǎng)以及與所述陰極筒體和所述陽極柵網(wǎng)相連接的電源。

進一步地，所述陰極筒體內(nèi)還設(shè)有氣體擋板，所述氣體擋板位于所述陽極柵網(wǎng)遠離所述真空規(guī)的一側(cè)。

進一步地，所述氣體擋板位于所述陰極筒體的中間，且所述氣體擋板的外緣與所述陰極筒體的內(nèi)壁之間具有間隙。

進一步地，所述被動捕集器包括活性炭吸附件和分子篩吸附件。

進一步地，所述活性炭吸附件和所述分子篩吸附件分別位于所述主動捕集器的相對兩側(cè)。

進一步地，所述捕集組件設(shè)于所述連接管和所述真空規(guī)的連接處；或者，所述捕集組件的兩端均連接有所述連接管，且兩端的所述連接管分別與所述真空規(guī)和所述待檢測空腔相連接。

進一步地，所述捕集組件和所述連接管的連接處設(shè)有密封結(jié)構(gòu)。