[實用新型]真空規的捕集裝置

有效

• 申請號: 202020249264.1
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN211837044U
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 張心強;陳林
• 申請（專利權）人: 中科九微科技有限公司
• 主分類號: B01D50/00
• 分類號: B01D50/00;B01D46/00;G01L21/00
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 徐律

1.真空規的捕集裝置，用于將真空規(1)和待檢測空腔(2)相連通，其特征在于，包括：

連接管(3)，所述連接管(3)的一端與所述真空規(1)可拆卸連接，另一端與所述待檢測空腔(2)可拆卸連接；以及

用于收集沉積物的捕集組件(4)，所述捕集組件(4)包括主動捕集器(41)和被動捕集器(42)，所述主動捕集器(41)和所述被動捕集器(42)均串聯于所述連接管(3)上，且所述捕集組件(4)與所述連接管(3)可拆卸連接。

2.如權利要求1所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述主動捕集器(41)包括四個電極柱(411)和分別連接四個所述電極柱(411)的射頻電源，四個所述電極柱(411)平行設置并圍合形成四極場，且所述電極柱(411)的長度方向與所述連接管(3)的延伸方向一致。

3.如權利要求1所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述主動捕集器(41)包括陰極筒體(412)、間隔設于所述陰極筒體(412)內的陽極柵網(413)以及與所述陰極筒體(412)和所述陽極柵網(413)相連接的電源。

4.如權利要求3所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述陰極筒體(412)內還設有氣體擋板(414)，所述氣體擋板(414)位于所述陽極柵網(413)遠離所述真空規(1)的一側。

5.如權利要求4所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述氣體擋板(414)位于所述陰極筒體(412)的中間，且所述氣體擋板(414)的外緣與所述陰極筒體(412)的內壁之間具有間隙。

6.如權利要求1至5任一項所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述被動捕集器(42)包括活性炭吸附件(421)和分子篩吸附件(422)。

7.如權利要求6所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述活性炭吸附件(421)和所述分子篩吸附件(422)分別位于所述主動捕集器(41)的相對兩側。

8.如權利要求1至5任一項所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述捕集組件(4)設于所述連接管(3)和所述真空規(1)的連接處；或者，所述捕集組件(4)的兩端均連接有所述連接管(3)，且兩端的所述連接管(3)分別與所述真空規(1)和所述待檢測空腔(2)相連接。

9.如權利要求8所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述捕集組件(4)和所述連接管(3)的連接處設有密封結構。

10.如權利要求9所述的真空規的捕集裝置，其特征在于：所述密封結構采用橡膠密封或金屬密封。