[實用新型]固晶旋轉(zhuǎn)擺臂裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020244072.1
• 申請日: 2020-03-02
• 公開（公告）號: CN211295052U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡新榮
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳新益昌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 徐漢華

本申請?zhí)峁┝艘环N固晶旋轉(zhuǎn)擺臂裝置，包括旋轉(zhuǎn)座、驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)座水平旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器和安裝于所述旋轉(zhuǎn)座上的擺臂機構(gòu)；所述擺臂機構(gòu)包括氣動拆裝吸嘴的氣動夾、支撐所述氣動夾的支撐臂和驅(qū)動所述氣動夾轉(zhuǎn)動的校正調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述支撐臂安裝于所述旋轉(zhuǎn)座上，所述校正調(diào)節(jié)機構(gòu)與所述支撐臂相連。本申請?zhí)峁┑墓叹D(zhuǎn)擺臂裝置，通過設(shè)置校正調(diào)節(jié)機構(gòu)來驅(qū)動氣動夾轉(zhuǎn)動，進而帶動氣動夾上的吸嘴轉(zhuǎn)動，以調(diào)節(jié)晶片的角度，從而可以實現(xiàn)晶片角度精確調(diào)節(jié)，以使各晶片固晶時角度一致，進而提升固晶質(zhì)量，質(zhì)量一致性好。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請屬于固晶設(shè)備領(lǐng)域，更具體地說，是涉及一種固晶旋轉(zhuǎn)擺臂裝置。

背景技術(shù)

固晶時，固晶機驅(qū)動吸嘴吸取晶片，再將晶片安放固定到支架上。然而吸嘴在吸取晶片盤上不同位置的晶片時，晶片角度會有一些差別，影響固晶質(zhì)量的一致性。

實用新型內(nèi)容

本申請實施例的目的在于提供一種固晶旋轉(zhuǎn)擺臂裝置，以解決相關(guān)技術(shù)中存在的固晶質(zhì)量一致性差的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本申請實施例采用的技術(shù)方案是：提供一種固晶旋轉(zhuǎn)擺臂裝置，包括旋轉(zhuǎn)座、驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)座水平旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動器和安裝于所述旋轉(zhuǎn)座上的擺臂機構(gòu)；所述擺臂機構(gòu)包括氣動拆裝吸嘴的氣動夾、支撐所述氣動夾的支撐臂和驅(qū)動所述氣動夾轉(zhuǎn)動的校正調(diào)節(jié)機構(gòu)，所述支撐臂安裝于所述旋轉(zhuǎn)座上，所述校正調(diào)節(jié)機構(gòu)與所述支撐臂相連。

在一個實施例中，所述校正調(diào)節(jié)機構(gòu)包括主動輪、從動輪、連接所述主動輪與所述從動輪的同步帶和驅(qū)動所述主動輪轉(zhuǎn)動的調(diào)節(jié)電機，所述從動輪套于所述氣動夾上，所述調(diào)節(jié)電機安裝于所述旋轉(zhuǎn)座上，所述主動輪安裝于所述調(diào)節(jié)電機的主軸上。

在一個實施例中，所述校正調(diào)節(jié)機構(gòu)還包括支撐塊，所述支撐塊安裝于所述旋轉(zhuǎn)座上，所述調(diào)節(jié)電機安裝于所述支撐塊上。

在一個實施例中，所述校正調(diào)節(jié)機構(gòu)還包括感應(yīng)桿和用于探測所述感應(yīng)桿的探測器，所述探測器安裝于所述支撐塊上，所述感應(yīng)桿與所述調(diào)節(jié)電機之主軸相連。

在一個實施例中，所述旋轉(zhuǎn)座中設(shè)有收容腔，所述調(diào)節(jié)電機置于所述收容腔中。

在一個實施例中，所述擺臂機構(gòu)還包括驅(qū)動所述支撐臂升降的升降機構(gòu)，所述升降機構(gòu)安裝于所述旋轉(zhuǎn)座上，所述支撐臂安裝于所述升降機構(gòu)上。

在一個實施例中，所述升降機構(gòu)包括導(dǎo)軌、滑動安裝于所述導(dǎo)軌上的滑座、驅(qū)動所述滑座升降的音圈電機，所述音圈電機和所述導(dǎo)軌安裝于所述旋轉(zhuǎn)座上，所述支撐臂安裝于所述滑座上。

在一個實施例中，所述擺臂機構(gòu)還包括與所述滑座相連的感應(yīng)片和用于感測所述感應(yīng)片的感應(yīng)器，所述感應(yīng)器與所述音圈電機相連。

在一個實施例中，所述擺臂機構(gòu)還包括尺標(biāo)光柵和光柵讀數(shù)頭，所述尺標(biāo)光柵安裝于所述滑座上，所述光柵讀數(shù)頭與所述音圈電機相連。

在一個實施例中，所述固晶旋轉(zhuǎn)擺臂裝置包括多個所述擺臂機構(gòu)，多個所述擺臂機構(gòu)均勻分布于所述旋轉(zhuǎn)座的周側(cè)。

本申請實施例中的上述一個或多個技術(shù)方案，至少具有如下技術(shù)效果之一：

本申請實施例提供的固晶旋轉(zhuǎn)擺臂裝置，通過設(shè)置校正調(diào)節(jié)機構(gòu)來驅(qū)動氣動夾轉(zhuǎn)動，進而帶動氣動夾上的吸嘴轉(zhuǎn)動，以調(diào)節(jié)晶片的角度，從而可以實現(xiàn)晶片角度精確調(diào)節(jié)，以使各晶片固晶時角度一致，進而提升固晶質(zhì)量，質(zhì)量一致性好。

附圖說明

為了更清楚地說明本申請實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例或示范性技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請實施例提供的固晶旋轉(zhuǎn)擺臂裝置的主視結(jié)構(gòu)示意圖。