[實用新型]固晶旋轉擺臂裝置

有效

• 申請號: 202020244072.1
• 申請日: 2020-03-02
• 公開（公告）號: CN211295052U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 胡新榮
• 申請（專利權）人: 深圳新益昌科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 徐漢華

1.固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于，包括旋轉座、驅動所述旋轉座水平旋轉的旋轉驅動器和安裝于所述旋轉座上的擺臂機構；所述擺臂機構包括氣動拆裝吸嘴的氣動夾、支撐所述氣動夾的支撐臂和驅動所述氣動夾轉動的校正調節機構，所述支撐臂安裝于所述旋轉座上，所述校正調節機構與所述支撐臂相連。

2.如權利要求1所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述校正調節機構包括主動輪、從動輪、連接所述主動輪與所述從動輪的同步帶和驅動所述主動輪轉動的調節電機，所述從動輪套于所述氣動夾上，所述調節電機安裝于所述旋轉座上，所述主動輪安裝于所述調節電機的主軸上。

3.如權利要求2所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述校正調節機構還包括支撐塊，所述支撐塊安裝于所述旋轉座上，所述調節電機安裝于所述支撐塊上。

4.如權利要求3所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述校正調節機構還包括感應桿和用于探測所述感應桿的探測器，所述探測器安裝于所述支撐塊上，所述感應桿與所述調節電機之主軸相連。

5.如權利要求2所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述旋轉座中設有收容腔，所述調節電機置于所述收容腔中。

6.如權利要求1-5任一項所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述擺臂機構還包括驅動所述支撐臂升降的升降機構，所述升降機構安裝于所述旋轉座上，所述支撐臂安裝于所述升降機構上。

7.如權利要求6所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述升降機構包括導軌、滑動安裝于所述導軌上的滑座、驅動所述滑座升降的音圈電機，所述音圈電機和所述導軌安裝于所述旋轉座上，所述支撐臂安裝于所述滑座上。

8.如權利要求7所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述擺臂機構還包括與所述滑座相連的感應片和用于感測所述感應片的感應器，所述感應器與所述音圈電機相連。

9.如權利要求7所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述擺臂機構還包括尺標光柵和光柵讀數頭，所述尺標光柵安裝于所述滑座上，所述光柵讀數頭與所述音圈電機相連。

10.如權利要求1-5任一項所述的固晶旋轉擺臂裝置，其特征在于：所述固晶旋轉擺臂裝置包括多個所述擺臂機構，多個所述擺臂機構均勻分布于所述旋轉座的周側。