[實(shí)用新型]吸嘴快速拆裝式固晶擺臂有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202020243669.4 | 申請日: | 2020-03-02 |
| 公開(公告)號: | CN211295064U | 公開(公告)日: | 2020-08-18 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 胡新榮 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐漢華 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 嘴快 拆裝 式固晶擺臂 | ||
本申請?zhí)峁┝艘环N吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,包括氣動拆裝吸嘴的氣動夾和支撐所述氣動夾的支撐臂;所述氣動夾包括安裝于所述支撐臂上的夾頭,所述夾頭的一端設(shè)有用于配合容置所述吸嘴一端的容置孔,所述夾頭的另一端設(shè)有用于連接氣路以供氣體進(jìn)出所述容置孔的通氣孔。本申請?zhí)峁┑奈炜焖俨鹧b式固晶擺臂,通過在夾頭的一端設(shè)置容置孔,則將吸嘴插入容置孔中,以方便將吸嘴安裝在夾頭中;在夾頭的另一端設(shè)置通氣孔,則可以通過控制容置孔中氣壓,將吸嘴推出容置孔,以實(shí)現(xiàn)自動拆卸;從而實(shí)現(xiàn)吸嘴的快速拆裝,效率高。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請屬于固晶設(shè)備領(lǐng)域,更具體地說,是涉及一種吸嘴快速拆裝式固晶擺臂。
背景技術(shù)
固晶時,固晶機(jī)驅(qū)動吸嘴吸取晶片,再將晶片安放固定到支架上。在高速固晶過程中,吸嘴容易磨損,而影響固晶質(zhì)量,這就需要更換吸嘴。當(dāng)前吸嘴一般是固定在固晶機(jī)上,需要人工更換吸嘴,效率低。
實(shí)用新型內(nèi)容
本申請實(shí)施例的目的在于提供一種吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,以解決相關(guān)技術(shù)中存在的固晶機(jī)吸嘴更換效率低的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本申請實(shí)施例采用的技術(shù)方案是:提供一種吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,包括氣動拆裝吸嘴的氣動夾和支撐所述氣動夾的支撐臂;所述氣動夾包括安裝于所述支撐臂上的夾頭,所述夾頭的一端設(shè)有用于配合容置所述吸嘴一端的容置孔,所述夾頭的另一端設(shè)有用于連接氣路以供氣體進(jìn)出所述容置孔的通氣孔。
在一個實(shí)施例中,所述氣動夾還包括用于連接氣管的接頭,所述接頭與所述夾頭相連。
在一個實(shí)施例中,所述氣動夾還包括支撐套,所述夾頭安裝于所述支撐套的一端,所述接頭安裝于所述支撐套的另一端,所述支撐套安裝于所述支撐臂上。
在一個實(shí)施例中,所述夾頭滑動安裝于所述支撐套中,所述夾頭另一端的周側(cè)凸設(shè)有凸臺,所述支撐套一端的內(nèi)壁上凸設(shè)有用于止擋所述凸臺的擋臺。
在一個實(shí)施例中,所述支撐套與所述夾頭之間設(shè)有密封環(huán),所述支撐套一端的內(nèi)壁上設(shè)有定位容置所述密封環(huán)的定位環(huán)槽。
在一個實(shí)施例中,所述支撐套中安裝有推頂彈簧,所述推頂彈簧的兩端分別彈性抵頂所述夾頭與所述接頭。
在一個實(shí)施例中,所述吸嘴快速拆裝式固晶擺臂還包括驅(qū)動所述氣動夾轉(zhuǎn)動的校正調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),所述校正調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與所述支撐臂相連。
在一個實(shí)施例中,所述校正調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括主動輪、從動輪、連接所述主動本申請實(shí)施例提供的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,通過在夾頭的一端設(shè)置容置孔,則將吸嘴插入容置孔中,以方便將吸嘴安裝在夾頭中;在夾頭的另一端設(shè)置通氣孔,則可以通過控制容置孔中氣壓,將吸嘴推出容置孔,以實(shí)現(xiàn)自動拆卸;從而實(shí)現(xiàn)吸嘴的快速拆裝,效率高。
輪與所述從動輪的同步帶和驅(qū)動所述主動輪轉(zhuǎn)動的調(diào)節(jié)電機(jī),所述從動輪套于所述氣動夾上,所述主動輪安裝于所述調(diào)節(jié)電機(jī)的主軸上。
在一個實(shí)施例中,所述吸嘴快速拆裝式固晶擺臂還包括驅(qū)動所述支撐臂升降的升降機(jī)構(gòu),所述支撐臂安裝于所述升降機(jī)構(gòu)上。
在一個實(shí)施例中,所述升降機(jī)構(gòu)包括支撐所述支撐臂的滑座、支撐并引導(dǎo)所述滑座升降的導(dǎo)軌和驅(qū)動所述滑座升降的音圈電機(jī)。
本申請實(shí)施例中的上述一個或多個技術(shù)方案,至少具有如下技術(shù)效果之一:
附圖說明
為了更清楚地說明本申請實(shí)施例中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或示范性技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本申請的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本申請實(shí)施例提供的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂的結(jié)構(gòu)示意圖。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





