[實用新型]吸嘴快速拆裝式固晶擺臂有效
| 申請號: | 202020243669.4 | 申請日: | 2020-03-02 |
| 公開(公告)號: | CN211295064U | 公開(公告)日: | 2020-08-18 |
| 發明(設計)人: | 胡新榮 | 申請(專利權)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/677 | 分類號: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414 | 代理人: | 徐漢華 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 嘴快 拆裝 式固晶擺臂 | ||
1.吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于,包括氣動拆裝吸嘴的氣動夾和支撐所述氣動夾的支撐臂;所述氣動夾包括安裝于所述支撐臂上的夾頭,所述夾頭的一端設有用于配合容置所述吸嘴一端的容置孔,所述夾頭的另一端設有用于連接氣路以供氣體進出所述容置孔的通氣孔。
2.如權利要求1所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述氣動夾還包括用于連接氣管的接頭,所述接頭與所述夾頭相連。
3.如權利要求2所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述氣動夾還包括支撐套,所述夾頭安裝于所述支撐套的一端,所述接頭安裝于所述支撐套的另一端,所述支撐套安裝于所述支撐臂上。
4.如權利要求3所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述夾頭滑動安裝于所述支撐套中,所述夾頭另一端的周側凸設有凸臺,所述支撐套一端的內壁上凸設有用于止擋所述凸臺的擋臺。
5.如權利要求4所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述支撐套與所述夾頭之間設有密封環,所述支撐套一端的內壁上設有定位容置所述密封環的定位環槽。
6.如權利要求5所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述支撐套中安裝有推頂彈簧,所述推頂彈簧的兩端分別彈性抵頂所述夾頭與所述接頭。
7.如權利要求1-6任一項所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述吸嘴快速拆裝式固晶擺臂還包括驅動所述氣動夾轉動的校正調節機構,所述校正調節機構與所述支撐臂相連。
8.如權利要求7所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述校正調節機構包括主動輪、從動輪、連接所述主動輪與所述從動輪的同步帶和驅動所述主動輪轉動的調節電機,所述從動輪套于所述氣動夾上,所述主動輪安裝于所述調節電機的主軸上。
9.如權利要求1-6任一項所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述吸嘴快速拆裝式固晶擺臂還包括驅動所述支撐臂升降的升降機構,所述支撐臂安裝于所述升降機構上。
10.如權利要求9所述的吸嘴快速拆裝式固晶擺臂,其特征在于:所述升降機構包括支撐所述支撐臂的滑座、支撐并引導所述滑座升降的導軌和驅動所述滑座升降的音圈電機。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





