[實用新型]立式氧化鎵生長爐

有效

• 申請號: 202020241848.4
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN211713253U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 蔡永國;代利平
• 申請（專利權）人: 河南諾巴迪材料科技有限公司
• 主分類號: C30B29/16
• 分類號: C30B29/16
• 代理公司: 鄭州異開專利事務所(普通合伙) 41114
• 代理人: 劉一曉

本實用新型公開了一種立式氧化鎵生長爐，包括上爐膛和下爐膛；其內貫穿設置有石英外管，外管內套接有通過水平連接板固定的內管，所述水平連接板上開設有透氣孔，所述內管內設置有位于中部的擱板，所述擱板上放置有用于盛裝鎵催化劑的坩堝，內管的兩端分別位于上爐膛的頂部開口處和下爐膛的中部；且石英內外管兩端采用水冷式封堵結構，管內間隔設置有用于用于放置鎵催化劑的坩堝和用于放置藍寶石片的石英托盤，頂部設置有分別通向內外管的進氣石英管，底部設置有出氣管和抽真空管。本實用新型結構緊湊合理，操作方便快捷，可以輕松實現實驗室小批量氧化鎵的制作，有助于對新材料進行研究。

技術領域

本實用新型涉及加熱爐技術領域，尤其是涉及一種立式氧化鎵生長爐。

背景技術

隨著微波器件及光電子器件的發展，Ⅲ-Ⅴ族材料得到了快速發展，但對于需要在大功率、高頻、高速、高溫以及在惡劣環境中工作的器件材料的選擇，要求則愈來愈高的。氧化鎵的帶隙大于硅、氮化鎵和碳化硅，是一種新興的寬禁帶功率半導體材料，但目前沒有專用的用于氧化鎵晶體生長的設備，給科學研究帶來了一定的困難。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型提供一種立式氧化鎵生長爐，其采取下述技術方案：

本實用新型所述的立式氧化鎵生長爐，包括

爐膛，其由加熱溫度不同的上爐膛和下爐膛組成；

石英管，其包括貫穿設置在上爐膛和下爐膛內的外管，所述外管內套接有通過水平連接板固定的內管，所述水平連接板上開設有透氣孔，所述內管內設置有位于中部的擱板，所述擱板上放置有用于盛裝鎵催化劑的坩堝，內管的兩端分別位于上爐膛的頂部開口處和下爐膛的中部；

封堵部，其包括設置在外管兩端的上水冷法蘭和下水冷法蘭，所述上水冷法蘭上設置有上蓋合法蘭，所述上蓋合法蘭上通過吊絲連接有位于內管頂部的上石英隔熱塞；所述下水冷法蘭通過中間法蘭和下蓋合法蘭相連，所述中間法蘭通過卡箍與下蓋合法蘭活動相連，所述下蓋合法蘭上設置有向頂部延伸設置的剛玉棒，所述剛玉棒上套接有位于外管底部的下石英隔熱塞，剛玉棒頂部設置有用于放置藍寶石片的石英托盤，所述石英托盤與內管底部相距1-3mm；

通氣部，其包括穿過上蓋合法蘭和上石英隔熱塞設置的第一進氣石英管和第二進氣石英管，所述第一進氣石英管的出口端位于內管中并靠近所述坩堝設置，所述第二進氣石英管的出口端位于內管和外管之間并靠近第一塊所述水平連接板設置；還包括設置在下蓋合法蘭上的出氣管和抽真空管。

所述剛玉棒通過騎馬卡與下蓋合法蘭連接。

所述中間法蘭和下蓋合法蘭之間設置有密封圈，所述卡箍為鏈式快拆卡箍。

所述第一進氣石英管和第二進氣石英管均通過快裝不銹鋼法蘭與上蓋合法蘭相連。

所述剛玉棒為三根。

所述下蓋合法蘭與手動滾珠絲杠式升降機構相連。

所述第一進氣石英管的進口端設置有壓力表。

所述石英托盤與內管底部相距2mm。

本實用新型提供的立式氧化鎵生長爐，結構緊湊合理，操作方便快捷，可以輕松實現實驗室小批量氧化鎵的制作，有助于對新材料進行研究。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖2是圖1的左視圖。

圖3是圖1中的A-A向視圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型的實施例作詳細說明，本實施例在以本實用新型技術方案為前提下進行實施，給出了詳細的實施方式和具體的操作過程，但本實用新型的保護范圍不限于下述實施例。