[實用新型]立式氧化鎵生長爐

有效

• 申請號: 202020241848.4
• 申請日: 2020-03-03
• 公開（公告）號: CN211713253U
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 蔡永國;代利平
• 申請（專利權）人: 河南諾巴迪材料科技有限公司
• 主分類號: C30B29/16
• 分類號: C30B29/16
• 代理公司: 鄭州異開專利事務所(普通合伙) 41114
• 代理人: 劉一曉

1.一種立式氧化鎵生長爐，其特征在于：包括

爐膛，其由加熱溫度不同的上爐膛和下爐膛組成；

石英管，其包括貫穿設置在上爐膛和下爐膛內的外管，所述外管內套接有通過水平連接板固定的內管，所述水平連接板上開設有透氣孔，所述內管內設置有位于中部的擱板，所述擱板上放置有用于盛裝鎵催化劑的坩堝，內管的兩端分別位于上爐膛的頂部開口處和下爐膛的中部；

封堵部，其包括設置在外管兩端的上水冷法蘭和下水冷法蘭，所述上水冷法蘭上設置有上蓋合法蘭，所述上蓋合法蘭上通過吊絲連接有位于內管頂部的上石英隔熱塞；所述下水冷法蘭通過中間法蘭和下蓋合法蘭相連，所述中間法蘭通過卡箍與下蓋合法蘭活動相連，所述下蓋合法蘭上設置有向頂部延伸設置的剛玉棒，所述剛玉棒上套接有位于外管底部的下石英隔熱塞，剛玉棒頂部設置有用于放置藍寶石片的石英托盤，所述石英托盤與內管底部相距1-3mm；

通氣部，其包括穿過上蓋合法蘭和上石英隔熱塞設置的第一進氣石英管和第二進氣石英管，所述第一進氣石英管的出口端位于內管中并靠近所述坩堝設置，所述第二進氣石英管的出口端位于內管和外管之間并靠近第一塊所述水平連接板設置；還包括設置在下蓋合法蘭上的出氣管和抽真空管。

2.根據權利要求1所述的立式氧化鎵生長爐，其特征在于：所述剛玉棒通過騎馬卡與下蓋合法蘭連接。

3.根據權利要求1所述的立式氧化鎵生長爐，其特征在于：所述中間法蘭和下蓋合法蘭之間設置有密封圈，所述卡箍為鏈式快拆卡箍。

4.根據權利要求1所述的立式氧化鎵生長爐，其特征在于：所述第一進氣石英管和第二進氣石英管均通過快裝不銹鋼法蘭與上蓋合法蘭相連。

5.根據權利要求1所述的立式氧化鎵生長爐，其特征在于：所述剛玉棒為三根。

6.根據權利要求1所述的立式氧化鎵生長爐，其特征在于：所述下蓋合法蘭與手動滾珠絲杠式升降機構相連。

7.根據權利要求1所述的立式氧化鎵生長爐，其特征在于：所述第一進氣石英管的進口端設置有壓力表。

8.根據權利要求1所述的立式氧化鎵生長爐，其特征在于：所述石英托盤與內管底部相距2mm。