[實用新型]一種硅片花籃

有效

• 申請號: 202020234595.8
• 申請日: 2020-02-28
• 公開（公告）號: CN211125608U
• 公開（公告）日: 2020-07-28
• 發明（設計）人: 沈杰
• 申請（專利權）人: 常州科訊精密機械有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務所 32225
• 代理人: 鈕云濤

1.一種硅片花籃，包括兩個端板和固定在兩個端板之間的若干齒桿，齒桿上沿其長度方向設置有一列尖齒，其特征在于，

該列所述尖齒在沿所述齒桿的長度方向上連續間隔設置；相鄰兩個所述尖齒的齒根之間的距離為1mm～1.6mm，所述齒桿的長度為690mm～695mm。

2.如權利要求1所述的硅片花籃，其特征在于，

所述尖齒的底部呈與所述齒桿的側壁貼合的弧面，所述弧面包括兩個平行設置的弧線條和兩個平行設置的直線條；

所述尖齒的頂部呈長方形頂面，所述長方形頂面包括兩個平行設置的長條邊和兩個平行設置的短條邊；

自所述弧線條延伸有一傾斜大面至所述長條邊，自所述直線條延伸有一傾斜小面至所述短條邊，所述傾斜小面的兩側分別與一所述傾斜大面接合。

3.如權利要求2所述的硅片花籃，其特征在于，

所述弧線條與所述直線條之間具有一下交點；所述長條邊與所述短條邊之間具有一上交點；

每一個所述上交點對應一個所述下交點，所述上交點與所述下交點之間的連接線為曲線。

4.如權利要求1所述的硅片花籃，其特征在于，

相鄰兩個所述尖齒的齒尖之間的距離為6mm～6.5mm。

5.如權利要求2所述的硅片花籃，其特征在于，

所述弧面具有一與所述直線條相互平行的腰線，所述腰線至所述長方形頂面的距離為12mm～16mm。

6.如權利要求1所述的硅片花籃，其特征在于，

所述端板上開設有兩個鉤部。

7.如權利要求6所述的硅片花籃，其特征在于，

兩個所述鉤部之間開設有一與設備適配的梯形槽，所述端板的側邊緣鏡像設置有兩個與設備適配的斜缺槽。

8.如權利要求7所述的硅片花籃，其特征在于，

所述斜缺槽呈直角三角形狀，所述斜缺槽的側邊長為10mm。

9.如權利要求1所述的硅片花籃，其特征在于，

所述齒桿為8根，其中底部設置有互相平行的兩根所述齒桿，側部鏡像設置有兩列所述齒桿，每列所述齒桿的根數相同；或

所述齒桿為9根，其中底部設置有互相平行的三根所述齒桿，側部鏡像設置有兩列所述齒桿，每列所述齒桿的根數相同。

10.如權利要求1～9任一所述的硅片花籃，其特征在于，

所述端板上預埋有RFID標簽。