[實用新型]一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體

有效

• 申請號: 202020221213.8
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN211479992U
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 鄧信甫;李志峰;徐銘;王雪松;陳佳煒
• 申請（專利權）人: 至微半導體（上海）有限公司;江蘇啟微半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

1.一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體，其特征在于，包括：

外槽腔體(301)、固定于所述外槽腔體(301)內的夾層擋裙(302)及提籃固定機構(305)，所述提籃固定機構(305)用以固定晶圓提籃及晶圓；

所述外槽腔體(301)一相對的側面上分別開設有通氣口(3011)，并且外槽腔體(301)與夾層擋裙(302)之間形成一夾層區間，以使氮氣從所述夾層擋裙(302)底部進入所述夾層區間至所述通氣口(3011)流出；

外槽腔體(301)包括豎直圍欄(3012)及間隔固定于所述豎直圍欄(3012)外周一圈的第一傾斜板(3013)與第二傾斜板(3014)，所述第一傾斜板(3013)與第二傾斜板(3014)的中間貫通固接有連接板(3015)，所述連接板(3015)上開設有一通口(312)，所述通口(312)上連通有排放連接管件(311)，所述豎直圍欄(3012)與間隔固定于所述豎直圍欄(3012)外周一圈的第一傾斜板(3013)及第二傾斜板(3014)形成一具有最低點的容納腔，以使外槽腔體(301)內的液體自動流至所述排放連接管件(311)中。

2.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體，其特征在于，所述豎直圍欄(3012)沿豎直方向的高度值為第一高度值，所述夾層擋裙(302)沿豎直方向的高度值為第二高度值，所述第二高度值小于所述第一高度值。

3.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體，其特征在于，所述夾層區間的寬度值為10-12mm。

4.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體，其特征在于，外槽腔體(301)一相對的側面上分別固接有兩個定位柱(303)，所述定位柱(303)相配合的定位塊(308)，所述定位塊(308)固定于的固定板上(304)。

5.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體，其特征在于，所述通氣口(3011)處固定有通口固定板(306)，所述通口固定板(306)上固定有若干固定件，外槽腔體(301)與通氣口(3011)相鄰的一側面上連通有液體通入件(310)。

6.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體，其特征在于，外槽腔體(301)與夾層擋裙(302)一上端部上分別開設有兩個卡槽(309)，夾層擋裙(302)一相對的側面上分別固接有固定條(3022)，并且夾層擋裙(302)靠近液體通入件(310)處的底部開設有一讓位槽口(3021)。

7.如權利要求1所述的一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體，其特征在于，所述提籃固定機構(305)包括第一固定板(3051)、與所述第一固定板(3051)平行且對稱設置的第二固定板(3052)以及固定于所述第一固定板(3051)與第二固定板(3052)上的水平固定板(3053)。

8.如權利要求7所述的一種用于晶圓干燥槽增強氣體對流的槽體，其特征在于，所述水平固定板(3053)上對稱且平行固接有晶圓固定座，所述第一固定板(3051)與第二固定板(3052)上分別固接有兩個提籃固定塊(3054)。