[實用新型]一種提高排氣效率的排氣裝置

有效

• 申請號: 202020221204.9
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN211650996U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 鄧信甫;莊海云;王雪松;陳佳煒;徐銘
• 申請（專利權）人: 至微半導體（上海）有限公司;江蘇啟微半導體設備有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/14;F26B21/04
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

本實用新型公開了一種提高排氣效率的排氣裝置，包括：槽體、設置于所述槽體上方對開設置的擋門、固定于所述擋門上的噴氣機構以及與所述槽體連通的抽氣機構；所述噴氣機構包括第一噴氣組件及與所述第一噴氣組件對稱設置的第二噴氣組件，所述抽氣機構包括連通于所述槽體一側的第一抽氣組件及與所述第一抽氣組件對稱設置于所述槽體另一側的第二抽氣組件。根據本實用新型，結構簡單實用，噴氣機構能夠將氮氣全面覆蓋于晶圓的表面，抽氣機構能夠將氮氣抽離于干燥槽內，噴氣機構與抽氣機構相結合使得干燥槽內氮氣形成一循環氣流，大大提高了干燥槽的干燥效率。

技術領域

本實用新型涉及排氣裝置的技術領域，特別涉及一種提高排氣效率的排氣裝置。

背景技術

根據半導體晶圓在生產的過程中需要進行清洗，因此晶圓干燥技術不可或缺，一般的晶圓產品分為表面無加工的晶圓片、表面處理后的平整晶圓片、具有部份圖案化的晶圓產品，對這些晶圓在干燥的時候，干燥槽上方噴氣機構將氮氣噴入干燥槽內，然后再通過抽氣機構將干燥槽內的氮氣抽離，因此若干燥槽體內的氣體流動，不能形成一個良性的循環氣流，會導致晶圓的干燥效果不明顯，當噴氣機構所噴出的氮氣定向噴出時，使得槽體內的晶圓表面不能全面包裹氮氣，會大大降低晶圓干燥的效果，而且抽氣機構不能夠有效的將干燥槽內的氮氣及時抽離，槽體內的氮氣不能形成氣流，會影響晶圓干燥的效果。

實用新型內容

針對現有技術中存在的不足之處，本實用新型的目的是提供一種提高排氣效率的排氣裝置，結構簡單實用，噴氣機構能夠將氮氣全面覆蓋于晶圓的表面，抽氣機構能夠將氮氣抽離于干燥槽內，噴氣機構與抽氣機構相結合使得干燥槽內氮氣形成一循環氣流，大大提高了干燥槽的干燥效率。為了實現根據本實用新型的上述目的和其他優點，提供了一種提高排氣效率的排氣裝置，包括：

槽體、設置于所述槽體上方對開設置的擋門、固定于所述擋門上的噴氣機構以及與所述槽體連通的抽氣機構；

所述噴氣機構包括第一噴氣組件及與所述第一噴氣組件對稱設置的第二噴氣組件，所述第一噴氣組件與第二噴氣組件的結構相同；

所述抽氣機構包括連通于所述槽體一側的第一抽氣組件及與所述第一抽氣組件對稱設置于所述槽體另一側的第二抽氣組件，所述第一抽氣組件與第二抽氣組件結構相同；

第一噴氣組件包括固定于擋門上的噴流外罩及固定于所述噴流外罩內的導流管，所述導流管上連通有若干個噴嘴，每個噴嘴上固接有氣動調節閥，所述氣動調節閥用以控制氣體流入噴嘴中；

第二抽氣組件包括緩沖件，所述緩沖件連通有通氣管道。

優選的，噴流外罩包括設有一開口的外罩盒，所述外罩盒上固接有外罩蓋板，所述外罩蓋板上陣列開設有通氣孔。

優選的，外罩盒內一側面上固定有固定柱，外罩盒遠離所述固定柱的另一側面上開設有通槽。

優選的，導流管上均勻開設有若干連接孔，所述連接孔上連通有噴嘴，所述連接孔的孔徑沿導流管兩端向中間的方向呈漸進式等比減小。

優選的，所述緩沖件包括設有一開口的通氣盒及靠近所述開口的通氣盒側面上開設有連接通孔，所述通氣盒的開口處固定有連接板，所述連接通孔連通有連接筒。

優選的，所述連接筒固定有連接有第一過渡連接筒，所述第一過渡連接筒固定連接有緊固連接件，所述緊固連接件固接有第二過渡連接筒，所述第二過渡連接筒固定連接有幾字形通氣管道。

優選的，所述噴嘴連接導流管的一端上固接有氣動調節閥，所氣動調節閥包括通氣閥座及與所述通氣閥座連通的氣動調節管，所述通氣閥座內固接有橫斷片，所述橫斷片上開設有一通氣口，所述氣動調節管內設置有推動桿，所述推動桿上端套設有彈簧，并且推動桿的低端與所述通氣口相匹配。