[實用新型]一種提高排氣效率的排氣裝置

有效

• 申請號: 202020221204.9
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN211650996U
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 鄧信甫;莊海云;王雪松;陳佳煒;徐銘
• 申請（專利權）人: 至微半導體（上海）有限公司;江蘇啟微半導體設備有限公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B21/14;F26B21/04
• 代理公司: 北京沁優知識產權代理有限公司 11684
• 代理人: 蔡巖巖

1.一種提高排氣效率的排氣裝置，其特征在于，包括：

槽體(30)、設置于所述槽體(30)上方對開設置的擋門(50)、固定于所述擋門(50)上的噴氣機構以及與所述槽體(30)連通的抽氣機構(10)；

所述噴氣機構包括第一噴氣組件(40)及與所述第一噴氣組件(40)對稱設置的第二噴氣組件(20)，所述第一噴氣組件(40)與第二噴氣組件(20)的結構相同；

所述抽氣機構(10)包括連通于所述槽體(30)一側的第一抽氣組件(11)及與所述第一抽氣組件(11)對稱設置于所述槽體(30)另一側的第二抽氣組件(12)，所述第一抽氣組件(11)與第二抽氣組件(12)結構相同；

第一噴氣組件(40)包括固定于擋門(50)上的噴流外罩(411)及固定于所述噴流外罩(411)內的導流管(412)，所述導流管(412)上連通有若干個噴嘴(413)，每個噴嘴(413)上固接有氣動調節閥(414)，所述氣動調節閥(414)用以控制氣體流入噴嘴(413)中；

第二抽氣組件(12)包括緩沖件(123)，所述緩沖件(123)連通有通氣管道(121)。

2.如權利要求1所述的一種提高排氣效率的排氣裝置，其特征在于，噴流外罩(411)包括設有一開口的外罩盒(4113)，所述外罩盒(4113)上固接有外罩蓋板(4111)，所述外罩蓋板(4111)上陣列開設有通氣孔(4112)。

3.如權利要求2所述的一種提高排氣效率的排氣裝置，其特征在于，外罩盒(4113)內一側面上固定有固定柱(4114)，外罩盒(4113)遠離所述固定柱(4114)的另一側面上開設有通槽。

4.如權利要求1所述的一種提高排氣效率的排氣裝置，其特征在于，導流管(412)上均勻開設有若干連接孔(4121)，所述連接孔(4121)上連通有噴嘴(413)，所述連接孔(4121)的孔徑沿導流管(412)兩端向中間的方向呈漸進式等比減小。

5.如權利要求1所述的一種提高排氣效率的排氣裝置，其特征在于，所述緩沖件(123)包括設有一開口的通氣盒(1231)及靠近所述開口的通氣盒(1231)側面上開設有連接通孔(1234)，所述通氣盒(1231)的開口處固定有連接板(1232)，所述連接通孔(1234)連通有連接筒(1233)。

6.如權利要求5所述的一種提高排氣效率的排氣裝置，其特征在于，所述連接筒(1233)固定有連接有第一過渡連接筒(122)，所述第一過渡連接筒(122)固定連接有緊固連接件(124)，所述緊固連接件(124)固接有第二過渡連接筒(125)，所述第二過渡連接筒(125)固定連接有幾字形通氣管道(121)。

7.如權利要求1所述的一種提高排氣效率的排氣裝置，其特征在于，所氣動調節閥(414)包括通氣閥座(4141)及與所述通氣閥座(4141)連通的氣動調節管(4144)，所述通氣閥座(4141)內固接有橫斷片(4143)，所述橫斷片(4143)上開設有一通氣口(4142)，所述氣動調節管(4144)內設置有推動桿(4145)，所述推動桿(4145)上端套設有彈簧(4146)，并且推動桿(4145)的低端與所述通氣口(4142)相匹配。