[實用新型]一種具有清潔結(jié)構(gòu)的單晶硅片拋光機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020218520.0
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN211681520U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沈培琴
• 申請（專利權(quán)）人: 徐州永澤新材料科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/00;B24B47/22;B08B1/04
• 代理公司: 合肥市科融知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 34126
• 代理人: 晉圣智

本實用新型屬于單晶硅片拋光機領(lǐng)域，具體為一種具有清潔結(jié)構(gòu)的單晶硅片拋光機，包括拋光機構(gòu)，所述拋光機構(gòu)包括拋光機、拋光盤，所述拋光機頂部設(shè)有所述拋光盤，所述拋光機構(gòu)上設(shè)有位移機構(gòu)，所述位移機構(gòu)上設(shè)有清潔機構(gòu)，所述清潔機構(gòu)包括伸縮氣缸、連接板、清潔支撐架、電機一、清潔刷輥，所述伸縮氣缸伸縮桿上設(shè)有所述連接板，所述連接板后部焊接有所述清潔支撐架，所述清潔支撐架上且位于所述連接板一側(cè)設(shè)有所述電機一，所述電機一輸出軸上設(shè)有所述清潔刷輥，所述清潔刷輥一側(cè)設(shè)有水管，所述水管底部均勻分布有噴水嘴。本實用新型采用清潔機構(gòu)和位移機構(gòu)，從而可以對單晶硅片拋光機進(jìn)行清潔，因此使用方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于單晶硅片拋光機領(lǐng)域，具體是涉及一種具有清潔結(jié)構(gòu)的單晶硅片拋光機。

背景技術(shù)

單晶硅和多晶硅的區(qū)別是，當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時，硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核，如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒，則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則形成多晶硅。多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質(zhì)方面。例如在力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)等方面，多晶硅均不如單晶硅。多晶硅可作為拉制單晶硅的原料。單晶硅可算得上是世界上最純凈的物質(zhì)了，一般的半導(dǎo)體器件要求硅的純度六個9以上。大規(guī)模集成電路的要求更高，硅的純度必須達(dá)到九個9。人們已經(jīng)能制造出純度為十二個9的單晶硅。單晶硅是電子計算機、自動控制系統(tǒng)等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的基本材料。

現(xiàn)有的單晶硅片拋光機，不方便清潔，因此使用不便。

需要說明的是，公開于本實用新型背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對本實用新型的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

實用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實用新型采用清潔機構(gòu)和位移機構(gòu)，從而可以對單晶硅片拋光機進(jìn)行清潔，因此使用方便。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案：

一種具有清潔結(jié)構(gòu)的單晶硅片拋光機，包括拋光機構(gòu)，所述拋光機構(gòu)包括拋光機、拋光盤，所述拋光機頂部設(shè)有所述拋光盤，所述拋光機構(gòu)上設(shè)有位移機構(gòu)，所述位移機構(gòu)上設(shè)有清潔機構(gòu)，所述清潔機構(gòu)包括伸縮氣缸、連接板、清潔支撐架、電機一、清潔刷輥，所述伸縮氣缸伸縮桿上設(shè)有所述連接板，所述連接板后部焊接有所述清潔支撐架，所述清潔支撐架上且位于所述連接板一側(cè)設(shè)有所述電機一，所述電機一輸出軸上設(shè)有所述清潔刷輥，所述清潔刷輥一側(cè)設(shè)有水管，所述水管底部均勻分布有噴水嘴。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述位移機構(gòu)包括支撐板、直線電機滑軌、直線電機動子座，所述拋光機前部設(shè)有所述支撐板，所述支撐板上方設(shè)有所述直線電機滑軌，所述直線電機滑軌上設(shè)有所述直線電機動子座。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述位移機構(gòu)包括支撐板、電機二、絲杠、位移塊、位移支架，所述拋光機前部設(shè)有所述支撐板，所述支撐板頂部設(shè)有所述位移支架，所述位移支架一側(cè)設(shè)有所述電機二，所述電機二輸出軸上設(shè)有所述絲杠，所述絲杠上通過螺紋連接有所述位移塊。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述清潔刷輥與所述清潔支撐架轉(zhuǎn)動連接，所述清潔支撐架支撐所述清潔刷輥轉(zhuǎn)動。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述連接板與所述伸縮氣缸通過螺釘連接，所述連接板和所述伸縮氣缸連接緊固。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，所述伸縮氣缸呈垂直設(shè)置，所述伸縮氣缸可以帶動所述連接板和所述清潔支撐架垂直升降。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：