[實用新型]一種具有清潔結構的單晶硅片拋光機

有效

• 申請號: 202020218520.0
• 申請日: 2020-02-27
• 公開（公告）號: CN211681520U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 沈培琴
• 申請（專利權）人: 徐州永澤新材料科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/00;B24B47/22;B08B1/04
• 代理公司: 合肥市科融知識產權代理事務所(普通合伙) 34126
• 代理人: 晉圣智

1.一種具有清潔結構的單晶硅片拋光機，包括拋光機構(1)，所述拋光機構(1)包括拋光機(101)、拋光盤(102)，所述拋光機(101)頂部設有所述拋光盤(102)，其特征在于：所述拋光機構(1)上設有位移機構(3)，所述位移機構(3)上設有清潔機構(2)，所述清潔機構(2)包括伸縮氣缸(201)、連接板(202)、清潔支撐架(203)、電機一(204)、清潔刷輥(205)，所述伸縮氣缸(201)伸縮桿上設有所述連接板(202)，所述連接板(202)后部焊接有所述清潔支撐架(203)，所述清潔支撐架(203)上且位于所述連接板(202)一側設有所述電機一(204)，所述電機一(204)輸出軸上設有所述清潔刷輥(205)，所述清潔刷輥(205)一側設有水管(206)，所述水管(206)底部均勻分布有噴水嘴(207)。

2.根據權利要求1所述的一種具有清潔結構的單晶硅片拋光機，其特征在于：所述位移機構(3)包括支撐板(301)、直線電機滑軌(302)、直線電機動子座(303)，所述拋光機(101)前部設有所述支撐板(301)，所述支撐板(301)上方設有所述直線電機滑軌(302)，所述直線電機滑軌(302)上設有所述直線電機動子座(303)。

3.根據權利要求1所述的一種具有清潔結構的單晶硅片拋光機，其特征在于：所述位移機構(3)包括支撐板(301)、電機二(304)、絲杠(305)、位移塊(306)、位移支架(307)，所述拋光機(101)前部設有所述支撐板(301)，所述支撐板(301)頂部設有所述位移支架(307)，所述位移支架(307)一側設有所述電機二(304)，所述電機二(304)輸出軸上設有所述絲杠(305)，所述絲杠(305)上通過螺紋連接有所述位移塊(306)。

4.根據權利要求1所述的一種具有清潔結構的單晶硅片拋光機，其特征在于：所述清潔刷輥(205)與所述清潔支撐架(203)轉動連接。

5.根據權利要求1所述的一種具有清潔結構的單晶硅片拋光機，其特征在于：所述連接板(202)與所述伸縮氣缸(201)通過螺釘連接。

6.根據權利要求1所述的一種具有清潔結構的單晶硅片拋光機，其特征在于：所述伸縮氣缸(201)呈垂直設置。