[實用新型]多功能納米真空蒸發(fā)源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202020211269.5
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN211689207U
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王寧
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州泓沵達儀器科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32260
• 代理人: 許云峰

1.一種多功能納米真空蒸發(fā)源，包括坩堝和加熱單元，其特征在于，所述加熱單元包括套設(shè)于所述坩堝外側(cè)面的加熱套體，所述加熱套體在靠近所述坩堝一側(cè)的側(cè)壁為加熱套體內(nèi)壁，所述加熱套體的遠離所述加熱套體內(nèi)壁的側(cè)壁為加熱套體外壁，在所述加熱套體內(nèi)壁與所述加熱套體外壁之間具有加熱套體空腔，在所述加熱套體內(nèi)壁的外表面設(shè)置有多個向所述加熱套體的中軸線凹陷的容納槽，在每個所述容納槽內(nèi)分別設(shè)置有至少一個加熱元件，所述坩堝為熱解氮化硼材質(zhì)的坩堝。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能納米真空蒸發(fā)源，其特征在于，在所述加熱套體的外部還設(shè)置有冷卻套體，在所述冷卻套體內(nèi)設(shè)置有供冷媒流動的空腔，所述冷卻套體的上端設(shè)置有冷媒入口，在所述冷卻套體的下端設(shè)置有冷媒出口，在所述冷媒入口與所述冷媒出口分別通過管路外接于冷媒儲存裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多功能納米真空蒸發(fā)源，其特征在于，在所述加熱套體內(nèi)壁與所述加熱套體外壁之間還設(shè)置有至少一個導熱的金屬塊，所述金屬塊沿著所述坩堝的高度方向設(shè)置，所述金屬塊分別與所述加熱套體內(nèi)壁和所述加熱套體外壁相抵觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多功能納米真空蒸發(fā)源，其特征在于，還包括能與每個所述加熱元件相抵觸的限位塊，所述限位塊沿著所述加熱元件的長度方向設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的多功能納米真空蒸發(fā)源，其特征在于，在每個所述限位塊上設(shè)置有至少一根限位彈簧，所述限位彈簧的一端與所述限位塊固定，另一端與所述加熱套體外壁的內(nèi)側(cè)面固定，在所述限位彈簧處于放松狀態(tài)時，所述限位塊與所述加熱元件相抵靠。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的多功能納米真空蒸發(fā)源，其特征在于，在所述限位塊的靠近所述加熱元件一側(cè)設(shè)置有與所述加熱元件的形狀相匹配的限位槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能納米真空蒸發(fā)源，其特征在于，還包括與所述加熱套體的下端連接的連接板，在所述連接板上與各個所述加熱元件相對應(yīng)的設(shè)置有通孔，在所述通孔處設(shè)置有與所述加熱元件相連通的接口，所述接口與電源連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多功能納米真空蒸發(fā)源，其特征在于，還包括熱電偶測溫器，所述熱電偶測溫器的溫度感應(yīng)部位位于所述坩堝的內(nèi)側(cè)壁。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的多功能納米真空蒸發(fā)源，其特征在于，在所述熱電偶測溫器的外部還設(shè)置有金屬材質(zhì)的隔離套，所述電偶測溫器的測溫部位與所述隔離套相抵觸。