[實用新型]一種高精度平面度檢測裝置

有效

• 申請號: 202020206817.5
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN211291374U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 伍瑋;羅利娟;鐘海;張云飛
• 申請（專利權）人: 成都威博恩科技有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 成都中匯天健專利代理有限公司 51257
• 代理人: 劉雨田

本實用新型公開了一種高精度平面度檢測裝置，包括檢測箱體、平面度計算模塊、勻光模塊和取像模塊，檢測箱體頂壁開有卡口，卡口處卡設有平面平晶，所述勻光模塊和取像模塊設于檢測箱體內，勻光模塊包括光源罩和設于光源罩中的三色干涉光源，光源罩頂壁為勻光板；取像模塊包括若干個CCD網絡相機，CCD網絡相機朝向平面平晶底部，對平面平晶底部取像；CCD網絡相機與平面度計算模塊連接。本實用新型檢測時平面平晶底部、勻光模塊和取像模塊均處于封閉的檢測箱體內，同時通過多個CCD網絡相機取像，能夠有效避免外界光環境對勻光和取像的干擾，使干涉條紋的呈現和取像更準確，增加平面度的檢測精度。

技術領域

本實用新型涉及平面度檢測領域，具體是一種高精度平面度檢測裝置。

背景技術

平晶干涉法是一種平面度檢測方法，用于測量高光潔表面的平面誤差。測量時，把被測表面放在平面平晶上，以光源照射平面平晶，光在平面平晶表面反射和被測表面反射回來的光線形成干涉現象，由于被測表面平面度的影響，干涉光線的光程差不同，因此形成干涉條紋。干涉條紋反映被測表面的平面度，通過干涉條紋能夠計算被測樣品的平面度。

中國專利文件201811427991.6公開了一種航空件超高精度端面平面度檢測成像裝置及檢測方法，包括實木主體盒、平晶托盤、平晶、干涉光源、CCD傳感器、萬向調節支架和計算機。實木主體盒的底座上設有平面鏡，后側板上設有毛玻璃，左側板、右側板和上板的內表面上設有黑色遮光層，上板上設有安裝平晶托盤的槽孔；平晶放置在平晶托盤上，干涉光源安裝在實木主體盒內，CCD傳感器連接萬向調節支架、拍攝并發送干涉條紋圖像至計算機。該發明通過CCD傳感器和萬向調節支架，使干涉條紋清晰的呈現在計算機上，彌補了平晶檢測平面度時測量結果難以高效準確讀取的缺陷，提高零件檢測效率和準確度；在實木主體盒內置黑色遮光層，提高光源聚攏性，將反射光對測量效果的影響降至最低，增加了測量結果的準確度。

該現有技術通過平面鏡來反射干涉條紋圖像，但實際平面鏡達不到理想狀態，反射成像存在一定像差，且外部光環境可能通過平面鏡反射照射平面平晶，對干涉條紋的呈現造成影響，同時外部光環境也可能干擾CCD傳感器，對干涉條紋的清晰取像造成影響。此外，現有技術均是通過單個CCD相機取像，而鏡頭成像存在像差，使得平面度檢測精度受到影響。

實用新型內容

本實用新型的目的在于解決現有技術的上述問題，提供了一種高精度平面度檢測裝置。

本實用新型的目的主要通過以下技術方案實現：

一種高精度平面度檢測裝置，包括檢測箱體、平面度計算模塊、勻光模塊和取像模塊，檢測箱體頂壁開有卡口，卡口處卡設有平面平晶，所述勻光模塊和取像模塊設于檢測箱體內，勻光模塊包括光源罩和設于光源罩中的三色干涉光源，光源罩頂壁為勻光板；取像模塊包括若干個CCD網絡相機，CCD網絡相機朝向平面平晶底面，對平面平晶底部取像；CCD網絡相機與平面度計算模塊連接。

優選地，所述檢測箱體右側壁作為光源罩右側壁，檢測箱體右側壁可下旋朝外打開，三色干涉光源設于檢測箱體右側壁朝內一面上。

優選地，所述平面度計算模塊為觸屏電腦，觸屏電腦安裝于檢測箱體前壁上。

優選地，所述檢測箱體前壁包括從內到外依次設置的隔板和卡框，觸屏電腦安裝于卡框中。

綜上所述，本實用新型具有以下有益效果：檢測時平面平晶底部、勻光模塊和取像模塊均處于封閉的檢測箱體內，能夠有效避免外界光環境對勻光和取像的干擾，使干涉條紋的呈現和取像更準確。此外通過CCD網絡相機對平面平晶直接取像，提高干涉條紋的取像準確度。同時通過多個CCD網絡相機取像，平面度計算模塊對多個CCD網絡相機的干涉條紋圖像進行處理，補償像差，組合得到更為準確的干涉條紋圖像并計算，從而提高平面度檢測精度。

附圖說明