[實用新型]一種高精度平面度檢測裝置

有效

• 申請號: 202020206817.5
• 申請日: 2020-02-25
• 公開（公告）號: CN211291374U
• 公開（公告）日: 2020-08-18
• 發明（設計）人: 伍瑋;羅利娟;鐘海;張云飛
• 申請（專利權）人: 成都威博恩科技有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 成都中匯天健專利代理有限公司 51257
• 代理人: 劉雨田

1.一種高精度平面度檢測裝置，包括檢測箱體（1）、平面度計算模塊、勻光模塊和取像模塊，檢測箱體（1）頂壁開有卡口，卡口處卡設有平面平晶（2），其特征在于：所述勻光模塊和取像模塊均設于檢測箱體（1）內，勻光模塊包括光源罩（3）和設于光源罩（3）中的三色干涉光源（4），光源罩（3）頂壁為勻光板（5）；取像模塊包括若干個CCD網絡相機（6），CCD網絡相機（6）朝向平面平晶（2）底面，對平面平晶（2）取像；CCD網絡相機（6）與平面度計算模塊連接。

2.根據權利要求1所述的一種高精度平面度檢測裝置，其特征在于：所述檢測箱體（1）右側壁作為光源罩（3）右側壁，檢測箱體（1）右側壁可下旋朝外打開，三色干涉光源（4）設于檢測箱體（1）右側壁朝內一面上。

3.根據權利要求1或2所述的一種高精度平面度檢測裝置，其特征在于：所述平面度計算模塊為觸屏電腦（7），觸屏電腦（7）安裝于檢測箱體（1）前壁上。

4.根據權利要求3所述的一種高精度平面度檢測裝置，其特征在于：所述檢測箱體（1）前壁包括從內到外依次設置的隔板（8）和卡框（9），觸屏電腦（7）安裝于卡框（9）中。