[實用新型]半導體制作設備電磁加熱盤專用焊接波紋管

有效

• 申請號: 202020197748.6
• 申請日: 2020-02-21
• 公開（公告）號: CN211509325U
• 公開（公告）日: 2020-09-15
• 發明（設計）人: 張九朋;肖雅婷
• 申請（專利權）人: 遼寧希泰科技有限公司
• 主分類號: H05B6/10
• 分類號: H05B6/10
• 代理公司: 沈陽易通專利事務所 21116
• 代理人: 王建男

本實用新型涉及半導體制作設備領域，半導體制作設備電磁加熱盤專用焊接波紋管，其中第一連接端盤和第二連接端盤軸心處均具有安裝孔，第一連接端盤通過安裝孔套裝在導向管外環面，且第一連接端盤與導向管間隙配合，第二連接端盤通過安裝孔固定的安裝在導向管第一端部，且導向管軸心與第二連接端盤主延展面相互垂直，波紋管段位于套裝在導向管外部且位于第一連接端盤和第二連接端盤之間，波紋管兩端分別固定連接第一連接端盤和第二連接端盤的端面，且在自由狀態下導向管和波紋管段同軸心設置。本波紋管具有高溫環境下使用壽命長、耐腐蝕、動作導向性好的特點，方便波紋管安裝對接。

技術領域

本實用新型涉及半導體制作設備領域，特別是半導體制作設備專用的焊接波紋管。

背景技術

半導體制作設備電磁加熱盤專用焊接波紋管，是安裝在電磁加熱盤上方的焊接波紋管，為半導體制作設備在超高溫度的條件下提供運動補償和超高真空密封的工作要求。由于電磁加熱盤的使用溫度高于500攝氏度，與專用波紋管相連接的半導體制作設備的部分是運動部件，半導體制作設備因工藝制程的特殊工作條件，對運動部件的運動次數有著極高的要求。

現有技術方案因半導體制作設備頻繁動作，波紋管的使用壽命較低，因其工作環境溫度超過500℃，波紋管段過度勞損。另外，在一些特殊的工況下，可能會有腐蝕性的氣體接觸到波紋管，更會加速其老化。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型提出的半導體制作設備電磁加熱盤專用焊接波紋管，其具有高溫環境下使用壽命長、耐腐蝕、動作導向性好的特點，方便波紋管安裝對接。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：

半導體制作設備電磁加熱盤專用焊接波紋管，包括導向管、第一連接端盤、第二連接端盤、以及由合金材料制成的波紋管段，其中第一連接端盤和第二連接端盤軸心處均具有安裝孔，所述第一連接端盤通過安裝孔套裝在導向管外環面，且第一連接端盤與導向管間隙配合，所述第二連接端盤通過安裝孔固定的安裝在導向管第一端部，且導向管軸心與第二連接端盤主延展面相互垂直，所述波紋管段位于套裝在導向管外部且位于第一連接端盤和第二連接端盤之間，所述波紋管兩端分別固定連接第一連接端盤和第二連接端盤的端面，且在自由狀態下導向管和波紋管段同軸心設置。

作為優選的，所述導向管靠近第二端的外環面上設有至少一組對接環槽。

作為優選的，所述導向管靠近第二端的管壁上開設有用于將導向管第二端與外部管路對接的扣孔。

作為優選的，所述第一連接端盤和第二連接端盤朝向導向管第二端的端面上均設有螺紋孔。

作為優選的，所述第二連接端盤的直徑大于第一連接端盤的直徑。

作為優選的，所述第一連接端盤的外環面上開設有環形的預留槽。

本實用新型的有益效果是：

本裝置通過合金材質的波紋管段，既能夠耐得住高溫環境，同樣也能耐得住強腐蝕的工作環境，為半導體制作設備提供長期穩定的基礎工作保障。本波紋管通過導線管的設置，以及第一連接端盤和第二連接端盤與導向管的配合，使得波紋管段的伸縮方向為導向管軸向伸縮方向，其運動方向和波紋管波段疊層方向相同，有效的增長波紋管的使用壽面，使其壽命超過100萬次。本裝置優化導向管自由端部的外環連接結構，方便其與半導體制作設備的運動部件連接。本波紋管在其可運動的第一連接端盤外環面上設置預留槽，在實際使用中，方便其加裝防護扣具。

附圖說明

圖1為本實用新型半導體制作設備電磁加熱盤專用焊接波紋管軸向結構示意圖。

圖2為本實用新型半導體制作設備電磁加熱盤專用焊接波紋管剖視圖。

附圖標記包括：