[實用新型]一種用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置

有效

• 申請號: 202020189605.0
• 申請日: 2020-02-20
• 公開（公告）號: CN211320058U
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 葛凱倫;陳學詣
• 申請（專利權）人: 寧波得力微機電芯片技術有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 寧波誠源專利事務所有限公司 33102
• 代理人: 胡志萍;張艷鵬

1.一種用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：包括

第一壓輥(1)；

第二壓輥(2)，平行設置在第一壓輥(1)的下方，且第一壓輥(1)與第二壓輥(2)之間形成有可供第一傳送帶(3)和第二傳送帶(4)同時穿過的夾縫(11)；所述第一壓輥(1)和第二壓輥(2)分別通過對應的驅動機構驅動下轉動；

所述第一傳送帶(3)用于傳送連接在其上的單片膜(31)，它通過第一壓輥(1)的帶動下連同單片膜(31)穿經夾縫(11)；

所述第二傳送帶(4)用于傳送設在其上的晶圓(41)，它通過第二壓輥(2)的帶動下使晶圓(41)與第一傳送帶(3)上的單片膜(31)呈相對狀同步穿過夾縫(11)，而實現晶圓(41)與單片膜(31)的壓合。

2.根據權利要求1所述的用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：還包括供第一傳送帶(3)繞設其上的第一放卷滾軸(5)以及供第二傳送帶(4)繞設其上的第二放卷滾軸(6)。

3.根據權利要求2所述的用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：沿第一傳送帶(3)的行進方向，所述第一放卷滾軸(5)的下游設有支撐臺(7)，該支撐臺(7)包括支撐架(71)以及設置在支撐架(71)上的臺面(72)，所述第一傳送帶(3)繞經該臺面(72)而形成用于上單片膜(31)的作業平臺。

4.根據權利要求3所述的用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：所述支撐臺(7)的臺面(72)為光滑的平面。

5.根據權利要求3所述的用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：還包括能支承第一傳送帶(3)的傳送滾軸(8)，所述支撐臺(7)的臺面(72)與第一放卷滾軸(5)之間和/或所述支撐臺(7)的臺面(72)與第一壓輥(1)之間設有前述傳送滾軸(8)。

6.根據權利要求5所述的用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：所述傳送滾軸(8)有至少一個，至少其中一個所述傳送滾軸(8)能轉動地安裝在支撐架(71)上。

7.根據權利要求3所述的用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：在所述第二放卷滾軸(6)和第二壓輥(2)之間還設有用于支承第二傳送帶(4)的上料平臺(9)。

8.根據權利要求7所述的用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：所述第一放卷滾軸(5)設于支撐臺(7)的一側，所述第二放卷滾軸(6)、上料平臺(9)、第二壓輥(2)依次間隔設置在支撐臺(7)的另一側，所述第一壓輥(1)位于支撐臺(7)的臺面(72)的下方。

9.根據權利要求1所述的用于在晶圓表面壓膜的壓膜裝置，其特征在于：所述第一傳送帶(3)和第二傳送帶(4)均為具有寬度和長度的PET膜。