[實(shí)用新型]一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202020182118.1
• 申請(qǐng)日: 2020-02-19
• 公開（公告）號(hào): CN211769134U
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張馨月
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門微亞智能科技有限公司
• 主分類號(hào): B65H9/08
• 分類號(hào): B65H9/08
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型公開了一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置，包括：吸著載臺(tái)、透氣膜和限位塊，限位塊設(shè)置在吸著載臺(tái)的上表面邊沿處，透氣膜可拆卸的鋪設(shè)在吸著載臺(tái)上方，且透氣膜的邊沿與限位塊相接觸；所述吸著載臺(tái)中間設(shè)有氣體導(dǎo)流通道；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可大大的降低企業(yè)的生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品生產(chǎn)合格率，且維護(hù)更換方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及制造技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置。

背景技術(shù)

在觸控及顯示制造和半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中，針對(duì)柔性薄膜在真空吸著狀態(tài)下會(huì)出現(xiàn)凹陷現(xiàn)象，造成表面不平整，容易引起后序生產(chǎn)發(fā)生不良品?，F(xiàn)有真空吸附薄膜，是氣流進(jìn)入微孔陶瓷體內(nèi)后，氣流從多方向散開，然后接觸薄膜，達(dá)到吸著薄膜的效果；微孔陶瓷體是內(nèi)部或表面含有大量開口或閉口微小氣孔的陶瓷體，其孔徑一般為微米級(jí)；由于孔徑細(xì)小，一旦進(jìn)入灰塵，很難清洗，稍有不慎會(huì)造成報(bào)廢。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便且綜合性能優(yōu)越的提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置，以解決現(xiàn)有吸附薄膜設(shè)備維護(hù)使用不方便的技術(shù)問(wèn)題。

為解決上述所述的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案：一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置，包括：吸著載臺(tái)、透氣膜和限位塊，限位塊設(shè)置在吸著載臺(tái)的上表面邊沿處，透氣膜可拆卸的鋪設(shè)在吸著載臺(tái)上方，且透氣膜的邊沿與限位塊相接觸；所述吸著載臺(tái)中間設(shè)有氣體導(dǎo)流通道。

進(jìn)一步的，所述氣體導(dǎo)流通道包括：第一氣流通道、第二氣流通道和第三氣流通道，所述第一氣流通道橫向設(shè)置在吸著載臺(tái)的中間，縱向設(shè)置的第二氣流通道對(duì)稱的設(shè)置在第一氣流通道的兩側(cè)，且第二氣流通道與第一氣流通道相導(dǎo)通，第三氣流通道設(shè)置在第二氣流通道上方，透氣膜鋪設(shè)在第三氣流通道上方。

進(jìn)一步的，所述第三氣流通道的直徑小于第二氣流通道的直徑。

進(jìn)一步的，所述透氣膜設(shè)有相互導(dǎo)通的多方向透氣孔。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)：吸著載臺(tái)中間設(shè)有氣體導(dǎo)流通道，負(fù)壓氣流穿過(guò)氣體導(dǎo)流通道進(jìn)入透氣膜內(nèi)，透氣膜結(jié)構(gòu)秉承了微孔陶瓷平臺(tái)優(yōu)良的透氣性和氣流多方向流動(dòng)的特性，確保從吸著載臺(tái)發(fā)出的負(fù)壓能夠有效的將薄膜產(chǎn)品吸附??；同時(shí)透氣膜表面硬度比薄膜高，表面平整，既可以保證支撐薄膜，同時(shí)不會(huì)對(duì)薄膜產(chǎn)品缺陷風(fēng)險(xiǎn)影響，確保薄膜產(chǎn)品在其表面受到真空吸著影響下不出現(xiàn)凹痕、不平整現(xiàn)象，從而可使得柔性薄膜平整的被吸附在透氣膜上方；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，可大大的降低企業(yè)的生產(chǎn)成本，提高產(chǎn)品生產(chǎn)合格率，且維護(hù)更換方便。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型剖視圖。

標(biāo)注說(shuō)明：吸著載臺(tái)1；透氣膜2；限位塊3；氣體導(dǎo)流通道11；透氣孔21；第一氣流通道111；第二氣流通道112；第三氣流通道113。

具體實(shí)施方式

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。

需要注意的是，這里所使用的術(shù)語(yǔ)僅是為了描述具體實(shí)施方式，而非意圖限制根據(jù)本申請(qǐng)的示例性實(shí)施方式。如在這里所使用的，除非上下文另外明確指出，否則單數(shù)形式也意圖包括復(fù)數(shù)形式，此外，還應(yīng)當(dāng)理解的是，當(dāng)在本說(shuō)明書中使用術(shù)語(yǔ)“包含”和/或“包括”時(shí)，其指明存在特征、步驟、操作、器件、組件和/或它們的組合。