[實(shí)用新型]一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202020182118.1 | 申請(qǐng)日： | 2020-02-19 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN211769134U | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-10-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張馨月 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 廈門(mén)微亞智能科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B65H9/08 | 分類號(hào)： | B65H9/08 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 361000 福建省廈門(mén)市*** | 國(guó)省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提升 薄膜 真空 吸著 狀態(tài) 平面 裝置 | ||
1.一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置，其特征在于，包括：吸著載臺(tái)、透氣膜和限位塊，限位塊設(shè)置在吸著載臺(tái)的上表面邊沿處，透氣膜可拆卸的鋪設(shè)在吸著載臺(tái)上方，且透氣膜的邊沿與限位塊相接觸；所述吸著載臺(tái)中間設(shè)有氣體導(dǎo)流通道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置，其特征在于，所述氣體導(dǎo)流通道包括：第一氣流通道、第二氣流通道和第三氣流通道，所述第一氣流通道橫向設(shè)置在吸著載臺(tái)的中間，縱向設(shè)置的第二氣流通道對(duì)稱的設(shè)置在第一氣流通道的兩側(cè)，且第二氣流通道與第一氣流通道相導(dǎo)通，第三氣流通道設(shè)置在第二氣流通道上方，透氣膜鋪設(shè)在第三氣流通道上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置，其特征在于，所述第三氣流通道的直徑小于第二氣流通道的直徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提升薄膜在真空吸著狀態(tài)下平面度的裝置，其特征在于，所述透氣膜設(shè)有相互導(dǎo)通的多方向透氣孔。
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